BCxN薄膜的紫外透过光谱研究.pdf

第26卷，第1期 光谱学与光谱分析 and 200 6年1月 鼽tr旺酊)py SpectralAnalySis JaIluary，2006 BC工N薄膜的紫外透过光谱研究 王玉新1’2，冯克成1，李英爱2，李卫青2，刘丽华2，赵春红2，赵永年2 1．长春理工大学理学院，吉林长春130022 2．吉林大学超硬材料国家重点实验室，吉林长春130012 摘要利用射频磁控溅射方法以不同的溅射功率(80～130w)制备出具备紫外增透性能的B(N，BQN和 BeN薄膜。傅里叶红外吸收光谱和x射线光电子能谱测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合。 溅射功率对薄膜的组分和紫外增透性能有很大影响，其通过改变薄膜组分而影响紫外增透性能，且碳原子 数小的样品紫外增透性能好。以110w条件下制备的B(、N薄膜中碳原子数最小，它的紫外增透性能最好， 在200～350m波段附近平均透过率比玻璃提高了将近40％。 主题词 硼碳氮薄膜；透过率；增透膜；傅里叶红外吸收光谱；x射线光电子能谱 中图分类号：C1484．4文献标识码：A 文章编号：1000—0593(2006)01—0102—04 和氮气(99．999％)，氮氩比为1／4，工作气压1．3Pa。衬底温 引 言 度为400℃，沉积时间2h，溅射功率在80～130w范围内 变化。 根据石墨和六方氮化硼(h_BN)结构的相似性人们合成 了硼碳氮(BC：N。)三元化合物，料想其性能也应介于两者之测量，结果表明所得薄膜均为无定型结构。结合键态由NioD— letAvatar Escalab 间，并通过改变其化学配比和原子构图，其性能具有可控 370D们s型傅里叶变换红外光谱仪和vG 性n，2。。理论计算和实验研究都表明，不同成分和结构的 MKⅡ型x射线光电子能谱仪分析确定，同时xPS亦用于薄 1、M BC，N。物质在力学、热学、光学、电学等领域具有一系列优 膜组分分析。Dim鲫dion3100型原子力显微镜(删)用 异性能，有着广泛的应用前景∞。6J。目前对该化合物的性能 于测量薄膜的厚度和表面形貌，本实验所制备的薄膜厚度约 研究主要集中在力学和电学方面，它的光学特性研究的比较 为120～150咖。光透过率测量是在hmbda900紫外一可见一 少。而薄膜光学特性的研究主要以研究其光透过性质为 近红外分光光度计上完成的。 主‘7|。 BC，N。薄膜的合成方法有许多种，最常见的物理气相沉 2结果与讨论 积法(PvD)有射频磁控溅射法拍j、反应性溅射法旧1等；化学 气相沉积法(cvD)有热丝辅助C、，D19o和等离子体辅助 图1为溅射功率为80，100，110，120和130w时，在 CⅧ[5 硅衬底上制备的BC：N。薄膜样品(分别称为样品#1，#2， 3方法等。本文对射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备 的BC，N薄膜的光透过性质随射频功率的变化进行了研究， 其中样品#1的吸收峰中心分别位于1367，1276，1180和 并借助傅里叶红外吸收光谱(盯IR)和x射线光电子能谱 ()a)s)对薄膜进行了表征。 844咖～，其他样品的吸收峰中心与其相差不大。1367与 844 a111的吸收峰应归于面内BN键伸缩振动和