MEMS压电超声换能器的结构设计及性能表征.pdf

第32卷第4期 压电与声光 V01．32No．4 2010年8月 PIEZOELECTRICS＆．ACOUST00PTICS Aug．2010 文章编号：1004—2474(2010)04—0604—04 MEMS压电超声换能器的结构设计及性能表征 张晋弘，马剑强，李保庆，冯 艳，褚家如 (中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥230026) 摘要：介绍了一种新型的基于高性能锆钛酸铅(PZT)厚膜(压电常数d。，约为一280pm／V)的微机电系统 (MEMS)压电超声换能器。基于有限元法，对该种压电超声换能器进行了模拟设计。优化结果表明，边长2mm的 超声换能器，优化后其共振频率约为170kHz，有效机电耦合系数可达7．19％。此外，根据模拟结果，制备了超声 换能器并进行了测试。共振频率为119kHz的换能器，其有效机电耦合系数最大为6．39％，共振时中心振幅约为 4．8“m@50V，并分析了模拟结果与实验结果产生误差的原因。 关键词：锆钛酸铅(PZT)；厚膜；超声换能器；结构设计 中图分类号：TNl6 文献标识码：A of StructureandCharacterizationMEMSPiezoelectric Design UltrasonicTransducer ZHANG Yan，CHUJiaru Jinhong，MAJianqiang，LlBaoqing，FENG Precision andPrecision ofScienceand ofChina，Hefei230026。China) (Dept．of Machinery Instrumentation，UniversityTechnology new on film Abstract：A of mieromachinedultrasonic PZTthick typepiezoelectric transducer(pMUT)based withexcellent simulationofthis ultrasonic pm／V)wasinvestigated．Thedesign piezoelectric properties(矾1一一280 transducerhasbeencarriedOut FiniteElementMethod(FEM)．Theresultshowedthatthetrans— by optimization dueerwiththeside of2mmcouldobtaintheresonance of170kHzandtheeffective coeffi— length frequency coupling cientof basedonPZTthickfilmwerefabricatedandtested．Theresonance 7．19％．Furthermore，pMUT frequency， centerreso