压电微型泵的制造新工艺.pdfVIP

压 电微型泵的制造新工艺 New FabricationProcessforPiezoelectricMembraneM icropump 北京航空航天大学 (100083) 刘收 姚立强 姜兴刚 王益红 陈志同 【摘要】在微机 电系统 (MEMS)中首次把聚对苯二 甲基聚合物覆膜 (ParyleneCoating)技术成 功应用于压电薄膜致动器的绝缘、防振 、防水和防腐蚀 ；采用双面固体胶膜的键合工艺代替了 传统胶粘结工艺；采用了精密微钻孔、微车削等微细加工技术。这些措施 明显缩短了微型泵器 件的研制周期 ，降低 了成本 ，提高了微泵综合性能。 关键词 覆膜技术 固体胶膜键合工艺 微型泵 Keywords membranecoatingtechnology，solidgluefilm boudingprocess，micropump 中图分类号：TH3：TH706 文献标识码： 微型泵是微流动系统中重要的执行器件 。自从 3)与采用超精密机械微细加工工艺相比，以高分子 1980年斯坦福大学的Smits和Wallmark研制出蠕 聚合物为基体，半导体工艺和LIGA技术，能提高成 动式微机械泵[1以来 ，各种基于不同工作原理、加工 品率 ，可有效缩短设计和制造周期，减少物耗，大幅 工艺和不同致动方式的微型泵层出不穷 ]。其中的 度降低微型泵的单件制作成本。 压电薄膜微型泵具有结构简单、体积小、可控性好、 如图 1所示 ，微 无电磁干扰等优点，因而在微小型流体输送系统中 型泵采用 同心式的 有着 良好的应用前景 ，但离产业化还有一定距离。微 夹层结构。阀座和 泵产业化的出路在于提高其综合性能和降低成本。 阀室材料为 PMMA 据以往文献所发表的有关微型泵在工艺上的不 (有机玻璃)，是采用 足，采用新型的加工和装配工艺研制了一种新型结 超精密微车削、研磨 构的微型压电薄膜泵，其高性能和低成本使该新型 和微钻孔技术加工 微泵更接近商品化 。该微型泵有以下特点：1)压电 的，阀座和阀室装配 致动器的表面采用 了覆膜技术 ，有效地解决了致动 时，由定位孔和辅助 器的绝缘、防潮 、防振碎和抗腐蚀等问题 ，提高了致 夹具精确定位。阀 图1 压电薄膜泵的组成图 动器 的性能，延长了微型泵使用寿命 ；2)双面固体 膜为 8 m厚的聚酯材料薄膜，中间有直径 O．2 胶膜的键合工艺克服了传统胶粘结工艺操作复杂、 mm 的通孔。阀座、阀室和阀膜以50 m厚的专用双 胶层厚度和均匀度难以控制以及成功率低的缺点； 面固体胶膜在室温、无尘的环境下粘结。 ■} } 坐 业 判定3)鼍产品使用材曼料的信息选如龛材料名称 。 [参考文献] 、 纯度、 一 附着材料 (油漆膜)、稀有金属、有毒材料的分布，以 [1]姚巨坤，朱胜，崔培枝．再制造管理——产品多寿命周期 及更换零部件的材料等，这些信息有利于对危险物 管理的重要环节．科学技术与工程．2003，3(4)：374—378． 和贵重金属的处理，同时减少材料回收的费用，提高 [2]姚巨坤，向永华，朱胜．再制造工程的内涵及哲学意义． 再制造的经济效益。 中国资源综合利用·2003(8)：7-9· 4)其他辅助信息 如产品使用材料的相容性 、 [3]GuideJr’V·Danie1R··Productionplanningand 产品维护等。毋容置疑，这些信息涉及很多人和不同 comrofo