电容式传感器_传感器原理及应用(免费).ppt

（5）整体屏蔽法　　 将电容式传感器和所采用的转换电路、传输电缆等用同一个屏蔽壳屏蔽起来，正确选取接地点可减小寄生电容的影响和防止外界的干扰。下图是差动电容式传感器交流电桥所采用的整体屏蔽系统，屏蔽层接地点选择在两固定辅助阻抗臂 Z3和Z4中间，使电缆芯线与其屏蔽 层之间的寄生电容CP1和CP2分别与Z3和Z4相并联。如果Z3和Z4比CP1和CP2的容抗小得多，则寄生电容CP1和CP2对电桥平衡状态的影响就很小。 ～ 交流电容电桥的屏蔽系统 C1 C2 CP1 CP2 Z3 Z4 -A 最易满足上述要求的是变压器电桥，这时Z3和Z4是具有中心抽头并相互紧密耦合的两个电感线圈，流过Z3和Z4的电流大小基本相等但方向相反。因Z3和Z4在结构上完全对称，所以线圈中的合成磁通近于零，Z3和Z4仅为其绕组的铜电阻及漏感抗，它们都很小。结果寄生电容Cpl和Cp2对Z3和Z4的分路作用即可被削弱到很低的程度而不致影响交流电桥的平衡。 还可以再加一层屏蔽，所加外屏蔽层接地点则选在差动式电容传感器两电容C1和C2之间。这样进一步降低了外界电磁场的干扰，而内外屏蔽层之间的寄生电容等效作用在测量电路前置级，不影响电桥的平衡，因此在电缆线长达10m以上时仍能测出 1pF的电容。 电容式传感器的原始电容值较大（几百pF）时，只要选择适当的接地点仍可采用一般的同轴屏蔽电缆。电缆长达10m时，传感器也能正常工作。 4．防止和减小外界干扰 当外界干扰(如电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并与信号一起输送至测量电路时就会产生误差。干扰信号足够大时，仪器无法正常工作。此外，接地点不同所产生的接地电压差也是一种干扰信号，也会给仪器带来误差和故障。??? 屏蔽和接地。传感器壳体；导线；传感器与测量电路前置级等等。 增加原始电容量，降低容抗。 导线和导线之间要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列，若必须平行排列时，可采用同轴屏蔽电缆线。 尽可能一点接地，避免多点接地。地线要用粗的良导体或宽印制线。 采用差动式电容传感器，减小非线性误差，提高传感器灵敏度，减小寄生电容的影响和温度、湿度等误差。 防止和减小干扰的措施归纳为： 4.3电容式传感器的等效电路 电容式传感器的全等效电路如图所示。图中，L为包括引线电缆的电感和电容式传感器本身的电感；r包括引线电阻、极板电阻和金属支架电阻；Rg是极间等效漏电阻，包含极板间的漏电损耗和介质损耗、极板与外界间的漏电损耗和介质损耗；C0为传感器本身的电容；Cp为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容。 电容式传感器电容量一般很小，容抗很大，而工作频率一般较高，故略去图中电阻的影响，电容式传感器的等效阻抗为 式中，C=CP+C0 则等效电容为 实际电容相对变化为 因此实际的灵敏度为 可见电容传感器的等效灵敏度Ke与传感器的固有电感L有关，且随ω变化而变化。因此，在实际应用前必须要进行标定，否则将会引入测量误差。 4.4电容式传感器的测量电路 4.4.1 调频测量电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分。当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 调频测量电路具有较高的灵敏度，可测至0.01μm级位移变化 量，易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强。 当电容发生变化时，频率变为 当被测信号为零时,△C=0，振荡器有一个固有振荡频率f0，即: 4.4.2 交流电桥测量电路 变压器电桥具有使用元件最少，桥路内阻最小的特点。电桥输出电压为: 若传感器为变极距式差动电容传感器，则电桥输出为： 经放大、相敏检波和滤波后输出直流电压USC大小与位移成 线性关系，其正负极性反映位移的方向。 Cx C0 Ix ui a I0 b -K u0 ～ 4.4.3运算放大器式测量电路 4.4.4二极管双T型交流电桥 当UE为正半周时，二极管VD1导通、VD2截止，于是电容C1充电;在随后负半周出现时，电容C1上的电荷通过电阻R1，负载电阻RL放电， 流过RL的电流为I1。UE在负半周内，D2导通、D1截止，则电容C2充电，在随后出现正半周时，C2通过电阻R2，负载电阻RL放电，流过RL的电流为I2。根据上面所给的条件，则电流I1 =I2，且方向相反，在一个周期内流过RL的平均电流为零。 若将二极管理想化，当电源为正半周时，电路可等效成一阶电路 当供电电压是幅值为±UE、 周期为T、占空比为50%的方 波，可直接得到流过电容C2的 电流iC2： 正半周电流iC2的平均值IC2可以写成： 同理，可得负半周时流过电容C1的平均电流IC1为 故在负载RL上产生的电