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2.2 线位移检测传感器 包括光栅位移传感器、感应同步器、磁栅位移传感器等。 2.2.1 光栅位移传感器 (1)光栅的结构 在玻璃尺或玻璃盘进行长刻线(一般为10~12mm)的密集刻划,得到宽度一致、分布均匀、明暗相间的条纹,这就是光栅。 光栅种类很多,按工作原理分为物理光栅和计量光栅两种,前者用于光谱仪器,作色散元件,后者用于精密位移测量和精密机械自动控制等。计量光栅又分为长光栅和圆光栅。 长光栅主要用于测量长度,条纹密度有每毫米25、50、100、250条等。圆光栅也称光栅盘,其刻线刻制在玻璃盘上,用来测量角度或角位移。 光栅上的刻线称为栅线(不透光),栅线宽度为a,缝隙(透光)宽度为b,一般取a = b,W(W = a + b)称为光栅的栅距(也称光栅的节距或光栅常数)。 (2)光栅传感器的组成及工作原理 光栅传感器由光源、透镜、主光栅(标尺光栅)、指示光栅和光电元件构成。光源和透镜组成照明系统,光线经过透镜后成平行光投向光栅。主光栅与指示光栅在平行光照射下,形成莫尔条纹。 光电元件主要有光电池和光敏晶体管,它把莫尔条纹的明暗强弱变化转换为电量输出。 主光栅的有效长度即为测量范围。必要时,主光栅可以接长。 主光栅与指示光栅之间的距离d可以根据光栅的栅距进行选择,一般取d=W 2/λ,W为栅距,λ为有效光波长。 测量系统的精度主要由主光栅的精度决定。 莫尔条纹是指当指示光栅与主光栅的栅线有一个微小的夹角θ时,由于挡光效应(当线纹密度≤50条/mm时)或光的衍射作用(当线纹密度≥100条/mm时),则在近似垂直于栅线方向上显现出比栅距W大的多的明暗相间的条纹,相邻的两明暗条纹之间的距离B称为莫尔条纹间距。 当光栅之间的夹角θ很小,且两光栅的栅距都为W时,莫尔条纹间距B(a-a间距)为: K为放大倍数。 由于θ值很小,条纹近似与栅线方向垂直,因此称为横向莫尔条纹。 莫尔条纹具有如下特点: 1)运动对应关系:任意一个光栅沿垂直于栅线的方向每移动一个栅距W,莫尔条纹近似沿栅线方向移动一个条纹间距;光栅反方向移动时,莫尔条纹也作反方向移动。因此可以通过测量莫尔条纹的移动量和移动方向判断主光栅(或指示光栅)的位移量和位移方向。 2)位移放大:由于θ值很小,光栅具有位移放大作用,放大系数为: 3)减小误差:莫尔条纹是由光栅的大量栅线共同形成的。对光栅的刻线误差有平均作用。个别栅线的栅距误差或断线等疵病对莫尔条纹的影响很小,从而提高了光栅传感器的可靠性和测量精度。 通过前面的分析知道,主光栅每移动一个栅距W,莫尔条纹就变化一个周期2π,通过光电转换元件,可将莫尔条纹的变化变成电信号,电压的大小对应于与莫尔条纹的亮度,它的波形近似于一个直流分量和一个正弦波交流分量的叠加。 式中 W——栅距; x——主光栅与指示光栅间瞬时位移; U0——直流电压分量; Um——交流电压分量幅值; U——输出电压。 将该电压信号放大、整形使其变为方波,经微分电路转换成脉冲信号,再经过辨向电路和可逆计数器计数,则可在显示器上以数字形式实时地显示出位移量的大小。 位移量为脉冲数与栅距的乘积: 由于光栅传感器只能产生一个正弦信号,因此不能判断x移动的方向。为了能够辨别方向,需要在间距为B/4的位置设置两个光电元件,以得到两个相位差为90°的正弦信号,然后将信号送到辨向电路中去处理。 当主光栅向左移动,莫尔条纹向上运动时,光电元件1和2分别输出如前图(a)所示的电压信号u1、u2,经过放大整形后得到相位相差90°的两个方波信号u’1、u’2。u’1经反相后得到方波u”1。u’1和u”1经RC微分电路后得到两组光脉冲信号u’1w和u”1w,分别加到与门Y1和Y2的输入端。对与门Y1,由于u’1w处于高电平时u’2总是低电平,故脉冲被阻塞Y1无输出。对与门Y2,u’1w处于高电平时u’2也正处于高电平,故允许脉冲通过,并触发加减控制触发器使之置“1”,可逆计数器对与门Y2输出的脉冲进行加法计数。 同理,当主光栅反向移动时,输出信号波形如图(b)所示,与门Y2阻塞,Y1输出脉冲信号使触发器置“0”,可逆计数器对与门Y1输出的脉冲进行减法计数。这样每当光栅移动一个栅距时,辨向电路只输出一个脉冲,计数器所计的脉冲数即代表光栅位移。 若以移过的莫尔条纹的数来确定位移量,其分辨率为光栅栅距。 为了提高分辨率和测得比栅距更小的位移量,可以增加刻线密度,但这种方法制造、安装及调试困难;
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