第3章 电感式传感器A.pptVIP

电感式传感器是利用线圈自感或互感的变化实现测量的一种装置。 电感式传感器的主要优点是： 1）结构简单，可靠，测量力小，电磁吸引力的数量级为10-3 N ； 2）灵敏度高，最高分辨力达0.1μm ； 3）测量精确度高，输出线性度可达±0.1% ； 4）输出功率较大，在某些情况下可不经放大，直接接二次仪表。 其缺点是： 1）传感器本身的频率响应不高，不适于快速动态测量； 2）对激磁电源的频率和幅度的稳定度要求较高; 3）传感器分辨力与测量范围有关，测量范围大，分辨力低，反之则高。 a) 变气隙式 b) 变截面积式 c) 螺管式 自感式传感器结构示意图 对于差动式电感传感器，当衔铁上移Δδ时的电感变化量为 可见，采用差动结构后，自感传感器的灵敏度提高了一倍，线性度得到明显改善。 另外，采用差动结构还能抵消温度变化、电源波动、外界干扰、电磁吸力等因素对传感器的影响。 为了使输出特性能得到有效改善，要求构成差动的两个变隙式电感传感器在结构尺寸、材料、电气参数等方面均完全一致。 图3-8 谐振式调频电路 * * 自 感(self-inductance ) 当一线圈中的电流变化时，它所激发的磁场通过线圈自身的磁通量（或磁通匝链数）也在变化，使线圈自身产生感应电动势。这种因线圈中电流变化而在线圈自身所引起的电磁感应现象叫做自感现象，所产生的电动势叫做自感电动势，相应的电流称为自感电流。 互 感(mutual inductance) 两个线圈，当其中一个线圈的电流发生变化时 ，将引起穿过另一线圈的磁通量发生变化，从而在该线圈中产生感应电动势，这种现象称为互感现象（或互感），产生的电动势称为互感电动势。 互感系数的计算一 般比较复杂，实际中常常采用实验的方法来测定。 3.1 变磁阻式传感器 3.1.1 工作原理 M. Faraday 电磁感应定律(1831年)：当一个线圈中电流i变化时，该电流产生的磁通Φ也随之变化，因而在线圈本身产生感应电势el，这种现象称之为自感。产生的感应电势称为自感电势。 变磁阻式传感器的结构如图3-1所示。它由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料如硅钢片或坡莫合金制成，在铁芯和衔铁之间有气隙，气隙厚度为δ，传感器的运动部分与衔铁相连。当衔铁移动时，气隙厚度δ发生改变，引起磁路中磁阻变化，从而导致电感线圈的电感值变化，因此只要能测出这种电感量的变化，就能确定衔铁位移量的大小和方向。 图3 – 1 变磁阻式传感器 根据对电感的定义，线圈中电感量可由下式确定： （3-1） 式中：Ψ——线圈总磁链； I——通过线圈的电流； W——线圈的匝数； φ——穿过线圈的磁通。 由磁路欧姆定律， 得 （3-2） 式中, Rm为磁路总磁阻。 对于变隙式传感器， 因为气隙很小，所以可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损， 则磁路总磁阻为 （3-3） 式中： μ1——铁芯材料的导磁率； μ2——衔铁材料的导磁率； l1——磁通通过铁芯的长度； l2——磁通通过衔铁的长度； S1——铁芯的截面积； S2——衔铁的截面积； μ0——空气的导磁率； S0——气隙的截面积； δ——气隙的厚度。 通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻， 即 （3-4） 则式（3-3）可写为 （3-5） 联立式（3-1）、 式（3-2）及式（3-5）， 可得 （3-6） 上式表明，当线圈匝数为常数时，电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数，改变δ或S0均可导致电感变化，因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和变气隙面积S0的传感器。 目前使用最广泛的是变气隙厚度式电感传感器。 3.1.2 输出特性 由式（3-6）可知L与δ之间是非线性关系， 特性曲线如图3-2所示。设电感传感器初始气隙为δ0，初始电感量为L0，衔铁位移引起的气隙变化量为Δδ， 当衔铁处于初始位置时，初始电感量为 （3-7） 当衔铁上移Δδ时，传感器气隙减小Δδ，即δ=δ0-Δδ， 则此时输出电感为L=L0+ΔL， 代入式（3-6）式并整理，得 （