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第14卷第2期功能材料与器件学报Vol114,功能材料与器件学报,复合材料学报,新能源材料与器件,无机材料学报,材料热处理学报,材料研究学报,建筑材料学报,新能源材料与器件专业,钕铁硼磁钢材料器件
第 14卷第 2 期 功能材料与器件学报 Vo l14 ,No2
2008年 4 月 JOURNAL OF FUNCTIONAL MA TER IAL S AND D EV ICES Ap r. , 2008
文章编号 : 1007 - 4252 (2008) 02 - 04 17 - 05
微流控芯片模具非平面微电铸技术
1 2 2 2 1
朱学林 ,郭育华 ,刘刚 , 田扬超 ,褚家如
( 1. 中国科学技术大学精密机械仪器系 ,安徽合肥 230026;
2. 国家同步辐射实验室 ,安徽合肥 230026)
摘要 :研究了微流控芯片中大线距 /线宽比条件下的 UV - L IGA 制作工艺 。针对微电铸的要求 ,优
化了大面积 SU 8 曝光的工艺 ;通过计算机模拟分析和实验验证手段 ,提出了一种非平面微电铸方
法 ,有效的解决了大线距 /线宽比条件下的 UV - L IGA 工艺 ,为微流控器件的批量化制作成奠定了
坚实的基础 。
关键词 :微流控芯片 ; UV - L IGA ;微电铸
中图分类号 : TB 3 1 文献标识码 : A
Non - p lanar electroform in g of m icroflu id ic m old in sert
1 2 2 2 1
ZHU Xuelin , GUO Yu hua , L IU Gang , T IAN Yangchao , CHU J iaru
( 1. D ep artm en t of Precision M ach inery and Precision In strum en tation , H efei 230026,
Ch ina; 2. N ational Synch rotron R adiation L aboratory, U n iversity of Science and
Techno logy of Ch ina, H efei 230026, Ch ina)
A b stract: The fab rication of m icroflu idic ch ip s by UV - L IGA p roce ss w ith the large ratio of line sp ace to
line w idth wa s studied. The p roce ss of large area expo su re of SU 8 wa s op tim ized for the m icro - electro
form ing; a novel non - p lanar m icro - electroform ing m ethod wa s develop ed for the large ratio of line
sp ace to line w idth. The re su lts indicate that th is new m icro - electroform ing techn ique w ill enab le the
m a ss fab rication of m icroflu idic ch ip s by U
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