MEMS固体化学推进器设计及建模与研究.pdfVIP

第 13 卷 　第 2 期 　 光学 精密工程 Vol . 13 　No . 2 2005 年 4 月 　　 　　　　　　　　　Op tics and Preci sion Engineering 　　　　　　　　　　 Ap r . 2005 《微机电系统( MEMS) 》专题文章导读 吴一辉 中国科学院 长春光学机密机械与物理研究所 　　回顾近 30 年的科学发展史可以看出 ,发展最快 、微小型化最成功的是电子器件 。相比之下 ,非电子 器件小型化的速度要慢得多 。早在 1959 年物理学家 Richar d Feynman 就提出了“There ’s p lent y of roo m at t he bot to m . ”的观点 ,1982 年 Pet er sen K. E. 在 IEEE 会议上发表了“Silicon a s Mechanical Ma