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硅压阻式压力传感器在气压测量仪表中的应用设计 摘要：本文全面介绍了硅压阻式压力传感器的基本原理以及内部结构、工作方式，据此原理本文设计了一款采用硅压阻式压力传感器和单片机设计的气压变送器，详细介绍了此变送器的电路构成和应用前景。 关键词：气压；传感器；硅压力 引言 目前气象部门测量大气压力的仪器主要有： 水银气压表、机械式空盒气压计、振筒式气压仪和应用于自动站的数字式气压表（vaisala220B）等几种。近年来随着自动站在气象部门的大量使用，大气压力的测量也开始由水银气压表、空盒气压表等传统测量仪器开始向数字式气压表过渡，数字式气压表应用最多的是振筒式气压仪，和硅压力气压仪（如（vaisala220B）。相对于振筒式压力仪来说，硅压力传感器有以下几个优点：体积小、抗干扰能力强、结构简单、成本低廉等特点。从工作原理上来分，硅压力传感器可以大体可分为电容式和压阻式两种，vaisala的220B就是采用电容式的工作方式，但是电容式的硅压力传感器市场上还比较少见，而且售价比较高；而扩散硅压阻式压力传感器却已经广泛的应用于工业测量、环境监测等方面，而且市场上有很多品牌，型号可供选择。主要型号有：motolola mpx2100；honeywell sensym系列；icsensors 1210/1220/1240系列等。 基本原理 硅单晶材料在受到外力作用产生极微小应变时（一般步于400微应变），其内部原子结构的电子能级状态会发生变化，从而导致其电阻率剧烈变化（G因子突变）。用此材料制成的电阻也就出现极大变化，这种物理效应称为压阻效应。利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，沿单晶硅片上的特点晶向，制成应变电阻，构成惠斯电桥Wheatstone bridge），利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。 给传感器匹配一放大电路及相关部件，使之输出一个标准信号，就组成了一台完整的变送器。 图1 硅压阻式压力传感器结构及等效原理图 硅压阻式传感器一般对温度比较敏感，但?随着集成工艺技术进步，扩散硅敏感膜的四个电阻一致性得到进一步提高，原始的手工补偿已被激光调阻、计算机自动休整技术所替代，传感器温度系数，工作温度也大幅度提高扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体，无机械动件连接转换环节，所以不重复性和迟滞误差很小由于硅材料的刚性好，形变小，因而传感器的线性也非常好。因此综合表态精度很高?扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片最大位移量在来微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化平均无故障时间长，性能稳定，可靠性高由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能好，即使传感器受压面不隔离，能在普通使用中适应各种介质硅材料又与硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现。加之它的低电压、低电流、低功耗、低成本和安全防爆的特点，可替代诸多同类型的同功能产品，具有最优良的性能价格比。ZERO DRIFT: 0.05μV/°C （max））、低偏置电压（5uV (max)）,两块芯片一起组成了高精度的恒压源，电桥的工作电流: I0=VREF/RW;( VREF为1.235V, RW为调节电阻，位于1220的5，6脚) AD623是仪表专用运放，差分输入，差分输出，具有很高的共模抑制比，可以很好的抑制来自电源等其他方面的噪声的干扰，它的增益计算公式是： G=1+(100k/RG); 这里我们RG取10K，可计算出放大器的增益为11，按照1220手册，电桥最大输出为50mV，AD623的输出范围为：0--550mV。 数字部分是以单片机msp430F425为核心的数字处理系统，由于msp430F425内部已经集成了16位A/d；串口，118段液晶驱动，所以几乎不需要外围器件，大大节约了成本。数字部分的主要流程是：a/d转换，线性补偿，温度补偿，液晶显示，串口发送。 4 结语 以上电路通过实际测试，在经过线性补偿，温度补偿后，整个系统的精度有了显著的提高，取样测试发现精度小于0.5hPa，远远好于空盒气压表（精度为2hPa）