电子级多晶硅产业化技术研究项目可行性报告25页.DOCVIP

螃肇莆螆虿肆蒈蕿羈膅膈 电子级多晶硅产业化技术研究项目可行性报告 一、项目立项的背景和意义 1、项目立项的背景 1.1在人们消费水平不断提高以及对新能源产品不断追求的新形势下，应用于众多高科技产品中的一系列新材料的市场将十分广阔。 电子级多晶硅材料就是众多高科技电子信息行业不可或缺的原料。电子级多晶硅不仅应用于太阳能光伏电池而且可以大量用于集成电路等半导体器件等产品中，具有不可替代的作用。而目前世界上制备电子级多晶硅的技术主要被美、日、德等跨国公司所垄断。国内还没有能生产电子级硅材料的企业。 1.2市场分析 目前国内市场直接使用电子级硅烷的消耗量大致为600-700吨/年，随着浙江正泰集团非晶薄膜电池生产基地和河北廊坊太阳能薄膜电池生产基地产业也是一个十分敏感的战略性工业，多晶硅的主要制造技术又只掌握在美、日、德等几个发达国家手里，从国家安全的战略高度来考虑，国家积极支持和扶植规模型的电子级多晶硅产业，否则一旦有什么风吹草动，国家战略安全就将处于危险的地位。 我国是一个正在迅速崛起、经济快速增长的发展中大国，我国的电子工业和光伏产业也正处在飞速发展的关键时期，很难想象随着社会的进步，对高科技产品需求的不断加大，我国还要依靠进口高纯硅料来维持我国电子产品出口世界第一、光伏产品制造世界第一的地位。也就是说，没有国产高纯多晶硅材料的供应，要保持我国电子信息产业和光伏产业的高速发展是不可能的。因此鉴于电子级多晶硅产业对发展我国电子信息产业、光伏产业的重要作用和战略地位，国家支持和鼓励企业大力发展电子级多晶硅产品研发和生产。电子级多晶硅材料均列入和符合《国家中长期科学和技术发展规划纲要（2006-2020年）》和《国家产业政策指导目录》中《电子专用材料制造》的产业政策。 2、项目立项的意义 2.1国内市场发展潜力巨大 2.2良好经济效益和社会效益 工程建成投产，既为企业创造经济效益，又具有良好的社会效益。 符合国家产业政策符合国家产业政策环保优势 本项目用国外先进技术，三废排放量少，易于治理。针对本工艺生产的特点，本项目将建设切实可行的废水处理装置和废气处理设施，确保项目满足清洁生产需要。综上所述，，我国，也我国因此，本项目的。改良西门子法、硅烷法和流化床法。其中改良西门子工艺生产的多晶硅的产能约占世界总产能的80％，短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变公司根据国内多晶硅生产的现状，投资建设硅烷法多晶硅项目，采用的是引进国外硅烷法多晶硅生产技术与国内自行研发相结合的模式，在引进技术的基础上，开发和生产电子级多晶硅，并形成产业化生产。经过与国内、外多家技术专利商交流以及国内，拟采用装置运行稳定，产品质量满足国际市场要求，产品在市场上具有较强竞争力与国外几家多晶硅专利商和主要设备制造商进行了技术交流。根据对各种技术的筛选比较，决定采用未反应完的残渣在沉降分离槽沉降后，将上层的硫酸清液抽出至硫酸蒸发器进行蒸发浓缩至一定的质量百分比浓度，沉降下来的二氧化硅浆料用泵抽到二氧化硅硫酸混合槽，循环使用，降低生产成本，减少工业生产污染物的排放。此工艺与其他产业化生产四氟化硅的工艺相比较具有耗能低、原料价格低廉、排污量少和生产的四氟化硅纯度高、产量大、连续性好等优点。通过反复摸索、调试得到四氟化硅生产的最佳工艺条件，为后期制备高纯电子级多晶硅大大降低了生产成本。 3）增加一个硅烷反应器，提高硅烷的转化率 美国原有技术是通过四氢化铝钠与四氟化硅在一个反应器中进行反应，这样的反应所得硅烷只能达到90%左右的转化率。为了解决转化率低的技术难题，我们设计了以下技术方案： 一种硅烷生产工艺，四氢化铝钠溶液一次经过第一反应器和第二反应器。气体四氟化硅一次经过第二反应器和第一反应器，所述四氢化铝钠溶液为四氢化铝钠的二甘醇二甲醚溶液。这样硅烷反应所得的转化率可达99%以上。 本技术所提供的硅烷生产工艺，利用四氢化铝钠溶液和四氟化硅直接反应生成硅烷，四氢化铝钠和四氟化硅气体为逆向进料方式，在第一反应器内，四氢化铝钠的量大于四氟化硅的量，可以使四氟化硅完全反应，在第二反应器内，四氟化硅的量大于四氢化铝钠的量，可以使得四氢化铝钠完全反应。原料完全反应，从而大大减少成品硅烷中四氟化硅气体的含量，基本能达到99%以上的转化率，提高粗硅烷的纯度，为后期精制电子级硅烷提供了必不可少的条件。 4）增加一组电子级净化装置，有效降低多晶硅产品中硼、磷的含量。 光伏级多晶硅对杂质中硼、磷的含量要求比较低，在1-10ppm之内就可以。但应用于电子级多晶硅、非晶薄膜以及TFT液晶显示屏等半导体器件中对硼、磷杂质的要求就比较高，必须控制在0.1-0.15ppb范围之内。经过研究发现，我们增加的一组电子级净化装置主要用于除去硅烷中的硼、磷杂质，在一定温度压力的调节下，能够