锆钒合金非晶膜的制备及性能研究.pdfVIP

助 能 材 料 锆钒合金非晶膜的制备及性能研究。 郝万立1’2，赵北君1，彭述明2，龙兴贵2 (1．I四J 摘 要： 采用磁控溅射法制备出V／Zr比为2：1的硅表面粗糙度0．5nm。在制膜过程中，溅射电压为 非晶态锆钒合金膜，系统研究了合金膜的物相、表面成 分、生长形貌和动态力学性能。研究结果表明，在533 ～773K的沉积温度区间内，合金膜呈现非晶态，表面 X射线衍射分析采用帕纳科公司生产的X’Pert 存在约26nm厚的氧化层，其组成与膜基体显著不同；PRO MPD型X射线衍射仪，仪器设置为：入射光路由 合金膜在钼基片上以球形岛状模式生长；膜的动态硬 0．04rad索拉狭缝、10发散狭缝和10ramMASK组成； 度DHTll5和弹性模量Ei。／(1一扩)随沉积温度的升 高在583K处出现极大值，分别达到436．8GPa和1．13 索拉狭缝、单色器和充氙正比探测器组成。扫描程序 E+5 N／ram2。 设置为：步长0．04。，每步扫描时间1s，扫描区间20～ 关键词： 锆钒合金；非晶膜；表面成分；生长形貌；动 90。。成分分析采用美国ThermoVG公司生产的ES- 态力学性能 中图分类号：TB31；TB34 文献标识码：A 文章编号：1001-9731(2010)04-0594-04 程中离子枪电压为2kV，电流为2pA，溅射面积为 1 引 言 2ramX 上进行，透射样品采用双喷电解减薄，电解液用7％ 目前，中子发生器的应用已进人工业、医学、农业、 HCl0。乙醇溶液，电解温度为243K。 石油测井、地质勘探以及海关违禁品的检查等众多领 动态力学性能测试在美国MTS公司生产的 域，但其含氚靶材所使用的钛、锆等，已难以满足中子 NanoindenterXPTM型纳米压痕仪上进行，使用顶角 发生器对靶材性能的要求[1]。锆钒合金具有吸氢活性 好、吸氢容量大、平衡压低、吸氢后无相变、氢扩散系数 高等优异性能，其制备成膜后，可用于中子发生器的贮 间5s，卸载至最大载荷的90％时保持时间5s。材料动 氢部件，改善其贮氢性能，因此引起科学家们的高度关 注。目前，人们对锆钒合金块体材料及其氢化物体系 态力学性能参数分析，采用动态硬度DHTll5计算公 的制备、贮氢性能和氢化物电子结构稳定性等已开展 式： 了较为广泛的研究[z～lo]，但针对特殊应用的锫钒合金 DHTIl5=3．8584(1) 5 膜的研究报道却不多。国内复旦大学徐世林等人[11] 式中：F是样品所受载荷，单位mN；h是压坑深 报道用磁控溅射法制备了锆钒合金膜，研究了基片温 度，单位mm。 度和退火温度等对合金膜的物相及成分的影响，目的 在于获得C15型Laves相结构的合金膜。本文采用磁弹性模量Ei。／(1一￡，2)公式为： 控溅射法制备出V／Zr比为2：1的非晶态合金膜，并