硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究_陈飞.pdfVIP

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2015-09-18 发布于重庆
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57 5 2008 5 Vol.57, No.5,May, 2008 1000-3290P2008P57(05)P3276-05 ACTA PHYSICA SINICA n 2008 Chin.Phys.Soc. * ¬ 陈飞张晓丹赵颖魏长春孙建 ( , 300071) ( 2007 929; 2007 10 6 ) (OES) (VHF-PECVD) . : * * * ; SiH ; , SiH HA , ; , , I [HA* ]PI [ SiH* ] ; , I * PI * ; , [HA ] [SiH ] I * PI * . [HA ] [SiH ] : , , , PACC: 8115H, 7360F , . 11 引言 OES , [ 5) 8] , , [ 1, 2] [ 9) 11] . . PR650 (RF-PECVD) , , , (VHF-PECVD) OES . , , , ; 21 实验 [ 3] , . , VHF-PECVD , , ( cluster CVD system) , 21mm, 60 MHz, 170e , ( SC= , [ SiH4 ]P( [ SiH4 ] + [ H2 ] ) ) 2% ) 7%. . PR650 , , , ( optical emission , [ 4] spectroscopy, OES) . OES . PR650 , , OES * ( : 2006CB202600) , ( : 2007AA05 436) , ( : , ( : 05YFJMTC01600) , - . E-mail: garel@mail. nan