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- 2015-09-19 发布于湖北
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Er2O3Si外延薄膜表面和界面组分研究.pdf
第28卷第6期 真空科学与技术学报
2005年11、12月 CHINESEJOURNALOFVACUUMSCIENCEAND，IE_L：HNOIL)GY
Er203／Si外延薄膜表面和界面组分研究
朱燕艳H 方泽渡2
(1．上海电力学院上海200090；2．绍兴文理学院绍兴312000)
SurfaceandInterfaceof Films Grown
Er203Epitaxially
onSiSubstrate：AnPhotoelectron
X-Ray SpectroscopyStudy
Zhu Zeb02
Yanyanl．Fang
(1．Shangha／劲逸琊毋ofE／ectnc
Abstract filmswere mo
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