LaCaMnO薄膜的掠入射x射线衍射研究(论文资料).pdfVIP

第27 卷 第12 期 核 技 术 Vol. 27, No.12 2004 年12 月 NUCLEAR TECHNIQUES December 2004 La0.7Ca0.3MnO3 薄膜的掠入射X 射线衍射研究 1,2 2 2 2 3 3 3 4 谭伟石 蔡宏灵 吴小山 蒋树声 贾全杰 郭立平 何 庆 高 矩 1 ( 南京理工大学理学院应用物理系 南京 210094 ) 2 ( 南京大学固体微结构物理国家重点实验室，南京大学物理系 南京 210093 ) 3 ( 中国科学院高能物理研究所 北京 100049 ) 4 ( 香港大学物理系 中国香港) 摘要 利用 90°离轴射频磁控溅射方法将 La Ca MnO ( LCMO ) 沉积于 ( 001 ) 取向的 SrTiO ( STO ) 、MgO 0.7 0.3 3 3 和 α-Al2O3 ( ALO ) 单晶基片上，薄膜厚度均为500 Å。通过掠入射X 射线衍射技术测量了LCMO 薄膜的横向 晶格常数( 即面内晶格常数) ，结合常规X 射线衍射研究了LCMO 薄膜的晶格应变及其弛豫情况。结果表明， LCMO 薄膜在MgO 和ALO 基片上的应变弛豫临界厚度很小，这可能与薄膜–基片之间高的晶格失配率有关。 LCMO 薄膜的应变弛豫与四方畸变的弛豫可能具有不同的机制。利用掠入射X 射线衍射对LCMO 薄膜面内生 长取向的研究给出了与利用电子显微技术研究相同的结果。 关键词 La0.7Ca0.3MnO3 薄膜，掠入射X 射线衍射，应变弛豫，面内晶格常数 中图分类号 O484 [1] 分子束外延[10] [11] 自从Jin 等人 在外延于 LaAlO3 单晶基片上 、离子束溅射 、直流磁控溅射 [12] [13] [14] 的La0.67Ca0.33MnO3 薄膜中发现超大磁电阻( CMR ) 、射频磁控溅射 、脉冲激光沉积 、金属有机 [15] [16] 效应以来，人们通过改变材料的成分和制备工艺， 化学气相沉积 和溶胶−凝胶法 等方法都被用来 利用各种实验技术和理论方法对类钙钛矿锰氧化物 在各种合适的基片上沉积超大磁电阻锰氧化物薄 块体材料和薄膜样品的结构、磁有序和电磁输运性 膜。本文利用 90° 离轴射频磁控溅射方法[17] 将 能进行了较为系统的研究[2-5] 。掺杂稀土锰氧化物超 La Ca MnO ( LCMO ) 沉积于 ( 001 ) 取向的 0.7 0.3 3 大磁电阻材料在自旋电子学等领域有着广阔的应用 SrTiO ( STO ) 、MgO