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2015-09-20 发布于重庆
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LTCC低介电常数微波介质陶瓷的研究进展.pdf

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第29 卷第 12期电子元件与材料 Vol.29 No.12 2010 年 12 月 ELECTRONIC COMPONENTS AND MATERIALS Dec. 2010 综述 LTCC 低介电常数微波介质陶瓷的研究进展岑远清，杜泽伟，陈梓贤，张韶鸽（广东风华高新科技股份有限公司，广东肇庆 526020）摘要: 简述了 Al2O3 系、MO-SiO2 （M=Ca, Mg, Zn ）系、MO-TiO2 系等相对介电常数为6～30 的低温共烧陶瓷 (LTCC)的结构和微波介电性能，介绍了自主研发的 Al O 系和Mg (Zn,Ti) O 系材料制作的多层陶瓷电容器(MLCC) 2 3 5 4 15 的电性能。分析和讨论了目前 LTCC 低介电常数微波介质陶瓷存在的问题，提出了其发展方向。关键词: 微波介质陶瓷；低介电常数；综述；LTCC；介电性能中图分类号: TM28 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 （2010 ）12-0064-04 Research progress of LTCC microwave dielectric ceramics with low permittivity CEN Yuanqing，DU Zewei ，CHEN Zixian，ZHANG Shaoge (Guangdong Fenghua High Technology Co., Ltd, Zhaoqing 526020, Guangdong Province, China ) Abstract: Microstructures and microwave dielectric properties of low temperature co-fired (LTCC) low permittivity microwave dielectric ceramics such as Al O , MO-SiO （M=Ca, Mg, Zn ）and MO-TiO based ceramics with ε between 6 2 3 2 2 r and 30 are summarized. Combined with our own study, the electrical properties of multilayer ceramic capacitors(MLCC) made from Al O and Mg (Zn,Ti) O system ceramics are analyzed and discussed, respectively. Additionally, existing 2 3 5 4 15 problems and the future prospects of the LTCC low permittivity microwave dielectric ceramics are proposed. Key words: microwave dielectric ceramics; low permittivity; review; low temperature co-fired ceramic; dielectric property