MEMS传感器在各种消费类产品的应用.pdfVIP

2009年8月 济南职业学院学报 Aug.2009 第 4 期 ( 总 第 7 5 期 ) No 4(Serial No 75) Journal of Jinan Vocational College . . MEMS传感器在各种消费类产品的应用 刘成刚 （济南职业学院，山东 济南 250103） 摘 要： MEMS是利用微米级立体结构实现感应和执行功能的一项关键技术。MEMS传感器越来越小，价 格越来越低，能效越来越高，设计和应用空间不断扩大，本文探讨了它在消费类产品中的各种应用。 关键词： MEMS；消费产品；传感器 中图分类号： 文献标识码：A 文章编号：1673-4270（2009）04-0110-02 TN4 一、引言 理电路，它能够检测到硬盘驱动器的意外摔落事 MEMS（Microelectro-mechanical systems的 故，并及时命令读写头缩回到安全位置，以防电脑 缩写，即微电子机械系统）是利用微米级立体结 最终摔落在地板上时损坏读写头。 构实现感应和执行功能的一项关键技术。制造这 健身和健康监测是MEMS传感器的另一类 些器件所采用的微加工技术与制造基本集成电 具有代表性的应用。计步表或计步器是利用三轴 路所采用的工序和工艺大同小异，只不过微加工 MEMS传感器实现健身和健康监测功能的代表 的产品通常是一个能够活动的立体的机械结构。 性应用，在特定的情况下，计步器的传感器能够精 其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微 确地测定在步行和跑步过程中作用在系统上的加 系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形 速度，通过处理加速度数据，计步器显示用户走 成产业。 过的步数和速度，以及在身体运动过程中所消耗 因为技术和经济的原因，MEMS曾经被局限 掉的热量。 在汽车市场和工业应用领域。今天，随着MEMS传 在另一项应用中，MEMS传感器可以用于设 感器越来越小，价格越来越低，能效越来越高，设 计一种老人急救设备。当老人意外摔倒时，这个 计和应用空间不断扩大，它在消费类应用市场的 设备可以检测到摔倒动作，自动发出一个报警信 普及率正在不断提高。 号，请求紧急救援。通过MEMS传感器和GPS模 二、应用 块，可以估算到需要救助的受伤老人所在位置，并 手提电脑、手机、便携媒体播放器和移动终 在网络上传送位置信息。在不久的将来，这些仪器 端设备内的硬盘驱动器坠落保护功能，是MEMS 商用化后，将会给不断增长的老龄化人群提供一 运动传感器在消费电子市场的具有重要历史意 个更安全的生活环境。 义的代表性应用。 在手提电脑内的三轴加速计 如今，能够检测运动、方向和手势的MEMS传 可以监测加速度，因为具有特定的功能和数据处 感器正推动运动传感技术向手机、游戏机、便携 收稿日期：2009-03-20 作者简介：刘成刚 （1978—），男，山东滨州人，济南职业学院电子工程系助教。 ·