一种非球面拟合球面的数据处理方法的研究和实现.pdfVIP

音频声学 ——————————————————————————————————————一 一种非球面拟合球面的数据处理方法研究与实现 戚向涛，张俊，顾亚平 中科院声学研究所东海研究站 摘要：在轮廓仪检测光学元器件利用非球面去拟合球面数据时，采用数据校准的方法生 成新的数据。对比轮廓仪的检测数据与该方法生成的数据，结果表明生成的数据与轮廓 仪的检测数据一一致。本文采取的非球面拟合球面的数据处理方法有效的弥*b-J轮廓仪生 成非球面数据的曲率半径有限的不足，扩展了其曲率半径范围。该方法已经应用到抛光 加工中，可以有效的利用生成的数据来指导抛光)JHq-生产，并得到抛光工程师的认可。 关键字：光学检测 生成数据 曲率半径数据校准非球面拟合球面 1 引言 光学检测是光学加工中非常重要的环节[1】，光学元件的制造需要与之精度相适 应的检测方法和仪器[21。轮廓仪以其高分辨、高精度、高灵敏度等优点作为精密测 量仪器在光学器件加工检测中应用十分广泛【3】。 轮廓仪检测的数据为检测器件相对于标准器件的误差数据，根据轮廓仪检测 到的误差数据便可进行光学修正加工。QED抛光机是光学抛光中重要的仪器【41。 通常情况下，轮廓仪产生的检测误差数据可以直接指导QED抛光机去抛光【51。 然而在利用QED抛光机加工球面器件时，因抛光机只能读取轮廓仪产生的非球面 检测数据，故需要利用非球面数据拟合球面数据。但对于固定球面器件，器件本 身半径太大或太小时，因轮廓仪自身非球面拟合球面时的曲率半径有限，则不能 生成抛光所需的误差数据。故需要一种能够生成任意曲率半径下相对应的误差数 据的新方法，并利用该方法生成的数据去指导抛光。 基于以上需求，本论文的研究主要研究内容及创新点有以下几方面：1)禾lJ用差 值数据校准的方法生成新的检测数据；2)有效的拓展了轮廓仪生成非球面数据的曲 率半径R：3)该方法已经应用到抛光加工中，利用生成的检测数据去指导抛光。 2理论推导 为了将新生成的拟合数据应用到抛光加工中，实验采集了9条轮廓仪检测得 到的曲率半径R不同的非球面误差数据，用以分析数据并生成新的拟合数据。 如图1所示为采集到的9条非球面误差数据。如图所示，当实验元器件的口 ．389． —主旦型燮堂丛塞逝玺垒蕉逝曼Q旦釜璧筮五昼堂查銮逋金 色、红色、绿色、蓝色、黑色、灰色、灰蓝色曲线分别代表曲率半径R从149．9852mm 到150．0652mm之间，曲率半径间隔O．Olmm的非球面误差数据。后续我们将分析这 9条曲线之间的相关规律并来生成新的拟合数据。 图1轮廓仪生成测试数据图 对采集到的9条非球面误差数据，相邻两条曲线之间对应点的误差值相减便 可以得到8组差值数据。图2为邻两条曲线之间对应点的误差相减，即曲率半径 间隔欲为O．Olmm的差值数据图，差值均在10∞mm量级。图2(a)所示为全口径差 值图，8条曲线重合为一条曲线。为形象的分析这8组差值数据，将图2(a)中心位 置区域放大得到图2(b)，从图2(b)中可以清晰的看出差值曲线共有8条。 (a)全口径差值 (b)中心位置放大差值 图2曲率半径间隔触为O．Olmm的数据差值图 如图2(b)所示，8条差值曲线之间的数值差别在10．7mm量级，即埃米量级。 相比于10-5mm量级，数值较小，对于抛光检测可忽略不计【61。所以对于该检测球 面来说，可以近似的认为当曲率半径间隔AR为O．01mm时，任意点的差值是一定 的。进而可以做这样的假设，对于任意一个球面来说，当轮廓仪的检测误差数据 应用非球面来拟合球面时，曲率半径间隔AR为定值时，任意点的差值是一定的。 根据上述假设，对于任何一个球面元器件，只要利用轮廓仪得到它的两条非 ．．390．．