精密激光测距光学及采集系统设计.pdfVIP

摘 要 随着现代制造技术精度的不断提高，发展纳米测量技术，建立纳米计量测试标准 成为计量与测试技术中十分重要的课题.纳米测量技术是随着纳米及微米技术的发展而 诞生的一门新兴学科，无论在精细机械加工与微型机电系统，还是在物理精密测量领 域上，纳米测量技术都有着广泛的应用. 现在能够实现纳米测量的方法主要有：电感电 容测微仪、x 射线干涉仪、外差式激光干涉仪、计量型扫描探针显微镜。本论文重点探 讨了在纳米测量技术领域目前常用的双频激光外差干涉仪: (1) 在选题阶段掌握和理解了各种激光外差干涉仪的光路结构和应用范围。提出了 采用声光频移器的全光纤外差测距方法。 (2) 完成了干涉仪系统的光学参数设计，包括激光器功率，偏振度，线宽要求，同 光路的设计原因和理论推导，并进行了干涉仪的光路调整和测量实验； (3) 设计了基于PCI－6221数据采集卡的，采用定时采集的函数，以vc作为语言的 界面设计初步模型； (4) 对设计的各项光学参数 （包括激光器功率，偏振度，线宽要求）进行了测量和 实验，并给出了在频移量为10kHz的情况下，初步外差测量结果。 本论文以全光纤双声光激光外差干涉仪为主，外差测距第一阶段已经接近完成， 软件采集思路以及响应数据已经得到，精度方面已经可以达到nm级别，在国内处于领 先水平。 关键词: 外差干涉仪 外差信号 线宽 PCI-6221数据采集卡 I Abstract As the improvement of precision manufacturing，the development of nanotechnology measurement technology, the establishment of nano -measurement test became a very important task of measurement and testing technology. The development of nano technology and micron technology gived a birth to nano-testing technology, whether in fine machining and micro-electromechanical systems, or in the field of physical precision measurement, nano-testing technology had a wide range of applications. Now the methods to measure nano is: ICP capacitance micrometer, x-ray interferometer, heterodyne Laser Interferometer, measurement of SPM. This paper focused on the measurement technology in the field of nanotechnology used in the current dual-frequency laser heterodyne interferometer ： (1) All kinds of existing signal process and applying range based on optical heterodyne interferometer were analyzed and researched ，then all-optical fiber heterodyne interferometer of two-frequency laser was put forward.. (2) Finished the design of optical interferometer structure