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实验三十二 原子力显微镜（AFM）
自从1982年，IBM公司苏黎士实验室的葛·宾尼(Gerd Binnig)博士和海·罗雷尔(Heinrich Rohrer)博士等研制成功扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscopy, 简称STM)。它使人们第一次能够实空间地观察单个原子的成象。但是必须是导电样品，STM才能进行观察。1986年Binnig、Quate和Gerber制作成功了第一台原子力显微镜。由于原子力显微镜是测量针尖原子与样品表面原子的极微弱的排斥力，并不产生隧道电流，因此可测量不导电的材料，如绝缘体的表面结构。
【】原子力显微镜(AFM)是由STM发展的扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope, SPM)家族中应用最广泛的表面研究的工具之一。一根十分尖锐的微探针与样品表面只有纳米或更小间距时，微探针尖端的原子和样品表面的原子之间产生相互作用的原子力，在间距较大时，原子力为引力；当间距减小，原子力逐渐从引力变成斥力。这是由于价电子云的相互重叠和两个原子核的电荷间的相互作用的结果。通常原子力显微镜(AFM)有几种运行模式。在斥力或接触模式中，力的量级为1(10eV/?(或10-9(10-8N).在引力或非接触模式中，范德瓦耳斯力、交换力、静电力或磁力被检测。这些不能提供原子分辨率但可得到表面有关的重要信息。在这里不讨论了。
【】AFM装置由AFM主体、高压电源和控制单元和计算机及接口等组成。AFM装置中的振动隔离、扫描控制、反馈控制等与STM基本相同。而其力传感器是AFM的关键部件，具有力常数10-2(102N/m。这样零点几个纳牛顿(nN)的力的变化都可测出。力传感器是通过微电子加工方法在SiO2上沉积Si3N4薄膜制备V字形微悬臂并利用其尖端作为探针尖.探测悬臂的微偏转有多种方法。这里选用了光束偏转法,如图所示.光束偏转用位置灵敏探测器(PSD)来记录。
【实验内容】
1、 在老师指导下,正确安装样品;了解AFM的工作过程与步骤。
2、正确操作AFM 的微探针运动,观察探测信号变化。
3、用计算机记录样品的AFM图象并分析。
【思考题】
1、了解针尖原子与样品表面原子相互作用力的大小。
2 、AFM与STM的异同点。
3 、AFM操作有什么要求,如何才能得到好的图象。
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图3 AFM原子力显微镜系统框图
图4 AFM光路示意图
图1 AFM的微探针
图2 原子力探测原理示意图
图5 多孔氧化铝的AFM图象
图6多孔氧化铝（背面）的AFM图象之一
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