微梁谐振器中的空气阻尼.pdfVIP

第 卷 第 期 北 京 科 技 大 学 学 报 29 8 Vol .29 No.8 年 月 . 2007 2007 8 Journal of universit of Science and technolo Bei in Au y gy j g g $$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$$ 微梁谐振器中的空气阻尼 ， ） ） ） 1 2 1 2 冯 闯 赵亚溥 刘冬青 1）中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室，北京100080 2）北京科技大学应用科学学院，北京100083 摘 要 为了研究空气阻尼对谐振器工作性能的影响，基于Euler-bernoulli假设、梁弯曲振动理论和气体阻尼理论，建立了考 虑气体阻尼的梁振动方程，结合边界条件对方程进行了求解，得到了两种不同情况下气体阻尼对微梁谐振器的谐振频率和品 质因子的影响 通过两种阻尼对谐振器影响的比较分析，指出在梁形状保持不变（长宽比和高宽比不变）情况下，微梁谐振器. 存在一个临界压膜厚度，此临界厚度可为器件的设计提供参考. 关键词 微谐振梁；空气阻尼；谐振频率；品质因子 分类号 ； + Tb123 Tb71 1 微谐振器因输出信号不易受干扰，测量精度高 如图 所示，梁的长、宽和高分别为 、 和 ； 1 l b h ［ ］ 等特点，使其得到了较好的应用和发展 1-4 . 它的 为谐振梁弹性模量； 为初始压膜厚度； 为微 E d0 i 基本工作原理是通过改变和检测谐振器的谐振频 梁关于x 轴截面惯性矩； 为谐振梁材料密度，对于 ! 率，从而把被测量直接转换为稳定可靠的频率信号， 结构谐振梁一般为硅材料；（ ，）为单位 MEMS z x t 因此可以简化处理电路并降低检测难度. 从工作原 长度梁所受外荷载；若不考虑激振，（，）为单位 z x t 理可以看到，谐振频率的变化对谐振传感器的工作 长度梁受到的空气阻尼力 ，它和速度 成正比， zd V 性能有重要影响. 对MEMS谐振器，作为表面效应 可表示为： 的空气阻尼会显著