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精密机械设计文献课 三坐标测量机的机构设计、 误差分析和补偿 一、坐标测量机的介绍 坐标测量机（CMM） coordinate measurement machine 通过运转探测系统测量工件表面空间坐标的测量系统。 1.2 坐标测量机的原理 通过测量空间任意的点、线、面以及相互位置，获得被测量几何型面上各测点的几何坐标尺寸，再由这些点的坐标值经过数学运算求出被测零部件的几何尺寸和形状位置误差。 1.3 坐标测量机的结构形式 活动桥式 固定桥式 龙门式（高架桥式） L型桥式 水平臂式 关节臂式 二、坐标测量机的机构设计 2.1 坐标测量机的组成 2.2 坐标测量机的传动装置 机械传动装置可分为两大部分：减速器、传动 目前减速器大部分用多楔带或同步带传动 传动又可分为摩擦传动和啮合传动两类 2.3 坐标测量机的导轨与轴承 导轨的作用：是保证机器平稳、高精度运动的关键。 导轨的类型：气浮导轨、直线滚珠导轨。 气浮导轨的行状：矩形导轨、三角形导轨、燕尾型导轨。 气浮导轨工作原理：气浮导轨的核心是空气轴承。 气浮导轨的优点：具有无磨擦及无磨损的特性，由于匀差效应 ，运动的局部直线度及角度摆动能较小，精度较高 。 燕尾形导轨的优点：刚性高、测量机的精度高。 三角形导轨的优点：重量减轻，重心降低。 2.4 坐标测量机的平衡机构 光栅由光栅尺及读数头两部分组成。 光栅尺上有着均匀排列的刻线，读数头上有读数光栅以及发光二极管和硅光电池。 读数头与光栅尺分别装在两个相对运动的载体上，利用光栅尺与读数头间的相对运动来得到两个载体间相对的位移。 2.6 测头系统 测头的功能：三坐标测量机的测头可视为一种传感器，但是其结构、功能比一般传感器更为复杂。测头精度的高低很大程度决定了测量机的测量重复性及精度。 测头的分类：按测量方法，测头可分为接触式和非接触式两类；接触式又可分为触发式和扫描式两种。 三、坐标测量机的误差分析 3.1 误差来源 3.2 机械误差的来源 1、零部件加工精度，如：导轨的精度 2、零部件组装精度 3、机械结构的变形 4、光栅刻线误差 3.3 测头误差 由于测杆角位移必须到一定值后触点才能断开，因此测尖接触工件到发出触测信号之间有延迟。延迟的距离与触测力FC 和测杆长度L成正比。 由于测杆刚性的影响，在测尖探测工件时，测杆有弯曲变形。 3.4 由温度引起的误差 四、坐标测量机的误差补偿 4.1 机械误差补偿 4.2 测头误差补偿 通过测头标定可以进行测头误差补偿。 测头标定速度与测量速度要保持一致。 4.3 温度补偿方法 线性温度补偿：在每个轴光栅上沾贴一个或两个温度传感器，利用热胀冷缩原理进行补偿。 结构温度补偿：在导轨的上下布上多个温度传感器，先建立导轨随温度变化弯曲变形的数学模型，再根据实际环境温度变化进行结构精度变形补偿。 五、最新国内外研究 传统的直角CMM通常由3个相互正交的移动导轨组成，但由于它的运动机构属于串联运动机构, 因而其几何运动误差和热变形及承载变形等误差具有明显的累加作用, 且运动刚性低, 从而限制了这种CMM 测量精度及测量效率的提高。 近年来, 以并联机构学为理论依据的智能机器人技术及数控加工技术的研究引起了各国学者的极大兴趣,并将其应用于CMM 中，现已成为新的研究热点。 并联运动机构的优点：结构刚性大、运动速度高、误差不叠加等特性, 测量精度高、测量效率等性能好。 。 5.1 三自由度并联CMM的结构及工作原理 三自由度并联机构CMM的工作原理： 通过移动副的调节器来控制移动副的伸缩,使连杆长度发生变化,从而使测头移动至测点位置,然后再由安装在移动副内的长度测量装置测出杆长的变化量,并以此为依据,计算出测点处的空间坐标。 测量模型的建立 5.2 超精密微型三坐标测量机 探测力和表面损伤 传统比较大的探测力可能会损伤工件表面进而影响测量结果，用小的探测力减小了探头与工件表面的接触面积。 并行机构 基于柔性铰链的三个平行机构，这种结构为三个自由度，旋转运动被锁定引入了引力补偿独立探头偏转，并建立到每个轴的探头上。 超精密坐标测量机 气动重量补偿机构，最大限度地减少热量；所有轴的位移 没有阿贝误差。 测试 探头形状校准：在赤道平面校准球的圆度。 球体的标定方法 三球标定方法，直径的校准和三位映射。 扫描的CMM 由于温度带来的漂移是一个重大的测量不确定，扫描需 要有个非常准确的温度控制洁净室。 本文观看结束！！！ 祝各位身体健康！万事如意！！ * 报告人：何旭栋 1.1 坐标测量机的定义 主机系统、控制系统、软件系统、测头系统