硅压阻式微压力传感器的研制与性能测试.pdfVIP

第 卷第 期 功能材料与器件学报 $ YDCT $- 7DT 年 月 ’## ’ 5AIZ74[ AU UI7N06A74[ \40]Z64[^ 47_ _]Y6N]^ _@PT- ’## 文章编号 ) * ! ##$ % ’(’ ’## # % #+,( % # 硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试 蒋庄德 赵玉龙 - ) 西安交通大学精密工程研究所 西安