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No．1 第30卷增1 压电与声光 SuppL 2008年6月 PIEZOELECTECTRICSACOUST00PTICSJurL2008 文章编号：1004-2474(2008)S0-0169—03 不同退火气氛对BST梯度薄膜影响的研究 易 莎，刘兴钊 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054) solution 摘 要：采用Metalorganic 表面形貌。研究结果显示梯度BST薄膜为多晶取向，表面平整，界面清晰。介电系数电压非线性测试则表现出不 同的气氛条件对梯度BST薄膜的介电性能的影响．在湿氧气氛下退火生长的梯度BST薄膜介电性能最好，其介电 损耗为2％．介电可调可达44％。 关键词：Bal-zSkTiOs(BST)梯度薄膜；退火气氛；介电可调 中图分类号：TN384 文献标识码：A Influenceof AmbientonStructuralandE