热处理条件对溶胶-凝胶法制备多孔TiO2薄膜微观结构的影响.pdfVIP

第33卷 增刊3 稀有金属材料与工程 v01．33，Suppl．3 2004年 12月 RAREMETALMATER工ALSANDENGINEERING December2004 热处理条件对溶胶．凝胶法制备多孔Ti02薄膜 微观结构的影响 杨金坚，赵高凌，韩高荣 (浙江大学硅材料国家重点实验室，浙江杭州310027) nIIl 摘 要：以钛酸异丁酯为先驱物，乙二醇甲醚为溶剂，羟基纤维素(HPc)为添加剂，用溶胶一凝胶法制备了厚度在270 ～420nm的多孔Ti0：薄膜。重点研究了薄膜微观形貌与热处理时间的关系，并对薄膜的截面电阻率进行了研究。在二 次热处理温度550℃下处理60min下得到多孔、厚度最大，截面电阻率最小的Ti02薄膜。j 关键词：Ti02；多孔薄膜，PHc；乙二醇甲醚