划痕试验法对特殊薄膜系结合力的检测与评价.pdfVIP

第 8 卷 第 4 期 分析测试技术与仪器 Volume 8 Number 4 2002 年 12 月 ANAL YSIS AND TESTIN G TECHNOLOGY AND INSTRUMENTS Dec . 2002 ( ) 分析测试新方法 218～225 划痕试验法对特殊薄膜系结合力的 检测与评价 华敏奇1 , 袁振海2 ( 1. 中国科学院兰州化学物理研究所 , 甘肃 兰州 　730000 ; 2 . 广州有色金属研究院 , 广东 广州 　510651) 摘 　要 :简要介绍了划痕试验法测量表面薄膜与基体结合力的测试原理和实验方法 ,讨论了影响临界载荷 Lc 测量 值准确性的主要因素. 通过对薄膜系的分类以及大量实际测量数据的总结和分析 ,认为被测薄膜以及基体的物理 化学特性对临界载荷的测量具有重要的影响 ,单纯从声发射信号的变化来确定临界载荷的方法有可能存在较大误 差. 分析和讨论了某些特殊薄膜系的声发射信号与其实际临界载荷值之间存在较大偏差的现象和原因 ,并提出了 针对不同膜系 ,合理利用声发射曲线 、摩擦力斜率以及显微观测来正确判定临界载荷的必要性. 关键词 :划痕试验法 ;膜基体结合力 ;临界载荷Lc ( ) 中图分类号 :O655. 4 　　　　文献标识码 :A 　　　　文章编号 2002 1 　划痕试验法原理 临界载荷 Lc 与界面失效应力具有线形对应 关 系[2～4 ] . 通常为方便起见 ,在实际应用过程中常将 薄膜与基体的界面结合力是决定薄膜可靠性和 Lc 值作为评价同类材料界面结合强度的主要参数. 使用寿命的重要因素 , 同时也是测试设备的生产与 划痕试验法即是用形状特定的压头在薄膜基 使用所关注的焦点之一. 测定薄膜与基体界面结合 体组合体的薄膜表面上滑动 ,在此过程中连续线性 力的试验方法很多 ,如摩擦抛光试验 、喷丸试验 、弯 增加载荷L ,当达到一定值 , 即临界载荷值 Lc 时 ,薄 曲试验 、拉力试验 、压痕试验以及划痕试验等等 ,相 膜与基体开始剥离 ,此时脆性薄膜会产生高强且连 应的测试设备也大多已经商品化. 划痕试验法具有 续波动的声发射信号 ,声发射峰出现波动的起始点 操作简便 、直观 、可量化比对等特点 ,且在一定程度 所对应的载荷值即为被测膜材料从基体脱落的临界 上可以模拟实际工况等优点 , 已被国际上多数国家 载荷Lc . 图 1 示出了典型的声发射信号载荷测量 所采用[ 1] . 目前国内也已陆续引进 、研制和生产了 曲线. 从测量图上可 以得出该膜的临界载荷为 26 多种型号的划痕试验机 ,而且已形成了部颁行业标 N . 其实当压头在膜表面划行时就是一种变载的摩 ( 准《气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验法》JB/ 擦过程 ,与声发射信号一样 ,当压头划到膜材料从基 T [2 ] . 划痕试验的基本原理就是在载荷恒 体脱落时 ,摩擦力 F 也将随载荷相应地发生变化. 定增大的方式下 ,保持划针匀速直线划刻薄膜直至 因此 ,摩擦力也可以作为判断临界载荷Lc 的依据. 膜破坏 ,通过监测整个过程中声发射信号或者其它 从压头的逐渐加载及其运动形式分析 ,薄膜的