钛表面沉积FePd磁性薄膜的研究.pdfVIP

第34卷 第8期 稀有金属材料与工程 、，01．34．No．8 2005年 8月 RAREMElALMATERIALSANDENGINEERING 2005 August 钛表面沉积Fe．Pd磁性薄膜的研究 马 波1，2，王克光1，李争显1，周廉1，程何祥1 (1．西北有色金属研究院，陕西西安710016) (2．东北大学，辽宁沈阳ll0004) 摘 要：采用电弧离子镀设备，以高纯Fe靶和Pd靶为原料，在11Al工业纯钛表面先后沉积Fe，Pd2层单金属薄膜。 h～3 对样品分别进行700℃～1100℃，保温O．5h的真空退火处理，使Fe膜和Pd膜之间形成扩散层，制备FePd磁性膜。 重点研究了Fe，Pd及钛衬底之间的互扩散机制，膜层结构，薄膜的相组成。结果表明：在700℃，0．5h处理后FePd 薄膜的合金化较好；在900℃，lh处理后虽有FePd相形成，但基体中的Ti已经扩散至表面；温度高于900℃且保温时 间长于1h处理，不利于FePd膜的形成。 关键词：TAl钛表面；Fe—Pd薄膜；扩散 中图法分类号：TGl46．2+3 文献标识码：A 文章编号：1002．185x(2005)08．1341．04 选用厚度为2mm的TAl工业纯钛板为实验用材，经 1 刖 罱 线切割加工成20mm×20mm的方形试样，经过酸洗、 钛及钛合金是活性金属，具有优良的机械性能及 抛光及超声波清洗后装于镀膜设备真空室中，真空度 良好的生物相容性，现已被广泛应用于骨和牙的植入 为1．3×10。Pa。在5×10。1Pa氩气分压下对试样进行 体。近年来用于冠心病的介入性治疗的钛制冠脉血管 12min～20min的氮离子轰击以清洗表面。镀膜的具 Pa~5 内支架已经应用于临床，并取得了一定的疗效。但在 体工艺参数为：氩气分压0．5 Pa，弧电流40A～80 临床中发现，由于钛表面金属离子的渗出，引起血管 A，试样温度300℃，负偏压一500v。通过沉积时间不 内壁内膜增生而促进了血栓的形成，术后再狭窄现象 同，控制沉积层的厚度。 仍然存在，这严重影响了介入性心脏病学发展。为了 通过对试样进行不同温度和不同保温时间的真空 改善其生物相容性，必须进行表面改性处理。通常采 扩散退火，研究如何使Fe，Pd双层沉积层元素间相互 取的材料表面改性方法有：生物惰性涂层、生物活化 涂层等。Pd和Pt是生物相容性良好的生物惰性材料。h～3h后随炉冷。沉积态和扩散后膜层进行X射线衍 另外，这2种铂族金属及一些合金在医学的其它领域 中也有着独特的功能作用，尤其是磁性方面【l~9】。 镜(SEM)观察和检测。 从Fe．Pd相图中可以看出其最低液相线温度在 3实验结果与分析 1300℃左右，二者可以形成合金，且FePd合金是一种 永磁合金。为此采用真空电弧离子镀在TAl工业纯钛 3．1 膜层表面形貌及成分分析 表面先后沉积Fe，Pd薄膜，通过真空扩散热处理使其 合金化，得到FePd合金。通过工艺控制，使薄膜表面SEM照片见图1。由图l可见，沉积态试样表面粗糙 无Fe及基体元素渗出，以使钛在医学临床上得到更广 度相对较低，图中灰白色颗粒状物质经SEM表面能谱 泛的应用。 滴，其最大直