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光学玻璃的超声波精密加工.pdf

第29卷增刊 大地测量与地球动力学 V01.29 Supp. 2009年8月 OFGEODESYANDGEODYNAMICSAug.,2009 JOURNAL 光学玻璃的超声波精密加工‘ 张黎 李树德 蔡庆福 李翠霞 (中国地震局地震研究所,武汉430071) 摘 要 为解决光学玻璃加工中如钻孔、切细槽、精细加工等问题,在分析光学玻璃物理特性和超声波加工原理 的基础上,用加工试验验证了超声波加工的适应性。试验结果表明,采用超声波加工,可以解决传统加工工艺无法 解决的难题。 关键词 超声波加工;光学玻璃;钻孔;细槽;精密加工 中图分类号:TM930.5 文献标识码:A ON FoRoPTICALGLASS UITRASONICPRECISIONMACHINING andLiCuixia ZhangLi,LiShude,CaiQingfu 43007 (InstituteofSeismology,CEA,Wuhan1) AbstractFor some ashole difficuIt in solving problemsopticalglass drill,narrowgrooving processing,such andfine the ofthe substrateofacertainsensorasan thebasisofan— processing,takingprocessingglass example,on the of andthe ofultrasonic the ofultrasonic alyzingphysicalpropertyopticalglass principle mechiningapplicability on is theresultshowsthiskindof well. machining glassverifield,as goose optical processing words:ultrasonic Key processing machining;opticalglass;drilling;grooving;fine 工[I2】。但这种加工方法生产效率低,加工精度不 1 引言 易保证,而且加工过程不易实现计算机控制,对于面 随着现代科学技术的发展,光学玻璃以其具有 形复杂的工件甚至无法加工,因此远远不能适应现 的耐高温、膨胀系数低、机械强度高、化学性能好等 代高科技发展和高效率的要求。 特点,被广泛应用于航空航天、信息、微电子及测绘

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