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化学溶液沉积_CSD_法制备YBCO薄膜研究进展
低温与超导 超导技术 Cryo. Sup ercond.
第 38卷 第 9期 Sup erconductivity Vol. 38 No. 9
( )
化学溶液沉积 CSD 法制备 YBCO 薄膜研究进展
1 2
张黄莉 ,赵高扬
( 1. 西安邮电学院 , 西安 710 12 1; 2. 西安理工大学 , 西安 710048)
摘要 :采用 CSD 法制备 YBCO 薄膜可精确的控制组份 ,不需要真空设备 ,成为近年来的研究热点之一 。文中概
述了 CSD 法制备 YBCO 薄膜的研究进展 ,总结了在不同的 CSD 工艺中 ,起始原料 、化学添加剂对 YBCO 薄膜热处理
时间、质量 、可重复性等因素的影响 。
关键词 :化学溶液沉积法 ; YBCO 薄膜 ;前驱液
Re search developm en t of Y BCO superconducting f il m s prepared by chem ica l solution depo sition
1 2
Zhang Huangli , Zhao Gaoyang
( 1. X i’an U n iversity of Po sts and Telecomm un ication s, X i’an 7 1012 1, Ch ina;
2. X i’an U n iversity of Techno logy, X i’an 7 10048, Ch ina)
A b stract: Chem ical So lu tion D epo sition (CSD ) is one of the attractive m ethod s to fab ricate YBCO film becau se of its p recise
contro l of compo sition, non - vacuum app roach. In the p ap er the re search p rogre ss of YBCO film s p rep ared by CSD m ethod were
summ arized. The differen t start m aterials and organ ic additive s in CSD m ethod that influence the calcination tim e, quality, rep ro
ducib ility and co st - effective of YBCO film s were analyzed.
Keywords:Chem ical solution depo sition (CSD ) , YBCO film , Precu rsor so lution
1 引言 在 CSD 法制备 YBCO 薄膜的过程中 ,首先必
须制得稳定的前驱液 。根据起始原料 、有机添加
随着超导电子器件向小型化 、集成化方向发
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