CHN薄膜的制备.pdf

第 卷第 期 原 子 能 科 学 技 术 ! ! # $%’!(%’# ! 年 月 #))* ! +,%-./0123 6/.21/271892/:1%% ;73’#))* ! 45 45 42P薄膜的制备 李常明!陈志梅!吴卫东!唐永建 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心!四川 绵阳 # D#)) ! 摘要!文章简要描述了空心阴极等离子体化学气相沉积 #的原理!以及用 方法制备 [EW$\ [EW$\ 薄膜的工艺和实验结果$用 和 分别分析了 薄膜中 和 的成分及表面形貌!并 W[( JE6 +@; W[( W ( 得到了一定条件下的薄膜沉积速率$ 关键词!空心阴极等离子体化学气相沉积% %薄膜% W[( JE6 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # c=T=U* + )))CD!#))*)#C)KDC)! ! ! ! ! ! ! 7’)’)6/0,016%42P /*( C ! ! ! BZW:71 C-.1 W[0( G:.C-2. XI X2.C8%1 9+(F %1 C.71 4 4 4 4h ! ! ! # I*’*%1/!*$(*1+ J%’*1K)’#+$ !#$%-/%*. + 0$ #$**1#$ 4 ’#/’ ?#%$ %$ D#)) !#$% , 3 , 2 2 3 3 2 ! +9.6’):6 Z1,:2 723 ,:2 3.1/.2%N:%%O /7,:%82 7M-7/:2-./7P7%382%M.C ! QQ Q Q Q Q Q # ,.%1 [EW$\ .M2d %H1828R3.2N’9:2W[( N.-M:7P2R221 3%8H/28%1 H73,SMHRC Q 5 Q a ’ M,37,2HM.1 :%%O /7,:%82 7M-7W$\ -2,:%8O.,:W[ 718