LSMCD技术制备镧钛酸铅薄膜.pdf

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 *’ ’ *((* 7 !#$%技术制备镧钛酸铅薄膜 王玉东 张之圣 刘志刚 天津大学电子信息工程学院 天津 ’((()*+ 摘要 详细介绍了采用 技术制备了 薄膜制备流程 并对薄膜的相结构做了分析 制备 薄膜的最佳热处理工 ,-./0 1,2 3 4 1,2 艺为预处理 保温 分钟 然后退火至 保温 小时 ’((5 3 6( 3 7((5 3 6 4 关键词 ,-./0 镧钛酸铅 薄膜 !#$% 89:;==?@=ABC9DECF?B!8GFHI JKLMNOPQLM RSKLMRSTUSVLM ,TORSTMKLM 3 3 mnnnop3 + WXYZZ[Z\][^X_‘ZabXca\Z‘de_bZa]afba^^‘baf gbeahbaiabj^‘kb_l gbeahba qYbae } 3 rsItCE:t 2STUuKuVvwTxxPTUyOUUTLPVzKTxK{QOzzSVuvQyVUUQ|,-./0 PVvT~VP1,2 zSTL|Tx! KLPKLKx#VzSV $ % ’((5 3 6( yvUzKxxTLVuSKUVQ|zSVzSTL|Tx! 2SV{VUzyQLPTzTQLUQ|uvVuKvTLM1,2 zSTL|Tx! wVvVSVKzTLMKz SQxP 3 7((5 3 6 $ !TL zSVLKLLVKxTLMKz SQxP S 9@’=C(I ,-./0 1,2 2STL|Tx! 选用乙酸铅 钛酸 四丁酯 + 7’ +, /6 /** 1{ 6 * ’ * * 引 言 和硝酸镧 为原料 乙二醇乙 + + ++ 3 /6 * 2T ,K9* ) 4 8 ’ ’ 醚 为溶剂合成先体溶液