ZnSb复合薄膜材料的制备及其在低温下的热电性能研究.pdf

第17卷第6期 功能材料与器件学报 V01．17．No．6 0FFUNCTl0NALMATERIAISANDDEVICES Dec．．2011 2011年12月 JOURNAL 文章编号：1007—4252(2011)06—0538—05 Zn／Sb复合薄膜材料的制备及其在低温下的热电性能研究 疏敏，王学生，代晶晶，戚学贵 (华东理工大学机械与动力工程学院上海200237) 摘要：采用磁控溅射的方法，两个单靶依次在si(100)基底上循环5次溅射制备了zn／sb多层复 变化情况。采用xRD、AFM对其结构和表面形貌进行分析，发现制备的薄膜表面光滑、致密，无大 颗粒，呈现出晶面择优生长的现象。实验结果表明：当调制比为4：1时，zn／Sb薄膜的功率因子最 高，且其最大值达到在174K时的7543．54斗W／mK2，但随着温度的升高，其值迅速的下降，变化趋 势和幅度都很明显。关键词：zn／Sb薄膜；磁控溅射；Seebeck系数；电导率 中图分类号： 文献标识码：A The andResearchonPerfbmanceofZn／Sbt】llinmI璐 Prepa髓tion SHU Min，WANG xue—sheng，DAIJing-jing，QIxue—gui ofMechanicalandPower (School Engineering， EastChina ofScienceand University Technology，Shanghai200237) thin Zn／Sb filmswere was Abstract：The method，which multi—layer preparedbymagnetI-onsputtering 6vetimestwo variationsoftheSeebeck elec— sputteI℃don(100)Siby single coemcient，the target．The tric andthe faetorofthreeZn／Sb wasofmodulationmtioof conductivitypower compositefilms，which 1： and inafixedmodulationof studiedinthe 1，3：2 4：1respectively period40nm，were temperaturemnge f而m160Kto thestlllctureandsu血ce XRDand 6lmsurface 250K．Analyzing appeamnceby AFM，the was The of 61ms