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多光谱微型列阵滤光器的研制
21 4 5 Vol.21, No.4 5
1999 10 OPT ICAL INSTRUM ENTS October, 1999
多光谱微型列阵滤光器的研制
黄相成 杨益民 师建涛 谢其庭
( , 710100)
: 随着光电信息技术的飞速发展, 为捕捉高速运 目标的信息, 提出了
研制微型列阵滤光器的新课题。给出了可见光七通道和可见/ 近红外十通道的研
制结果。滤光膜系采用诱导金属—介质膜。文中详尽推导了膜系设计的精确求解
公式, 并对通道的技术指标和镀膜方式进行了阐述, 还介绍了国内外相关的研制
情况。
: 微型列阵滤光器, 诱导金属—介质滤光膜。
-
The Res earch of Mul tispectal Micro array Fil ters
H UA NG X iangcheng YA NG Yiming SH I Jiantao X IE Qiting
( ′ , ′ 710100)
Xi an Inst itute of Applied Opt ics Chang an
Abstract As the rapid development of electro optical technology the new subject to de: ,
velop micro array filters is put forward for capturing high speed moving targets.T he paper
gives the development and reserch results of visible 7 channal and visible/ intra red
10 channal Inductive Metal Dielectric filter film is applied in the design of layers In the pa. .
per, the equations of layers design are deduced in detail, technology specifications of channal、
coating、method and the present level of development in this area are discribed.
Key Words : Micro array Filter, Inductive Metal dielectric Filter Film.
1
;
,
CCD Pd Si , ,
, ,
, ,
, ,
,
82
H W
, H W ,
21
224
6 CCD, 3 , 10
101515m2 , 3032. 5m, 3 ,
3 6 6 ,
, , ,
1985 45120 42560
, 89 Rock
Well 35m 812m ,
, ,
1985 ,
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