沉积温度对PECVD制备碳纳米管形貌的影响.pdfVIP

下载本文档

35
0
约1.17万字
约 5页
2015-09-30 发布于重庆
举报
版权申诉

沉积温度对PECVD制备碳纳米管形貌的影响.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

沉积温度对PECVD制备碳纳米管形貌的影响

第柏卷第4期人工晶体学报 v。I．40No．4 2011年8月 JOURNALOFSYNrr|lETICCRYSTA【s 1 August，20l 沉积温度对PECVD制备碳纳米管形貌的影响席彩萍1’2，王六定1，王小冬1，李昭宁1 (1．iHi-lt．r：业大学应用物理系，西安710072；2．渭南师范学院，渭南714000) 摘要：采用等离子体增强化学气相沉积技术，以c：}12、H：和N2为反应气体，在镀Ni催化剂的si基底上成功制备出多壁碳纳米管薄膜。采用扫描电镜研究了沉积温度对碳管形貌的影响，进一步通过扩散机制分析了多种形貌 CNTs的生长机制。结果表明：沉积温度对催化剂的刻蚀和碳纳米管薄膜的形成起着决定作用，获得定向性良好、分布均匀、密度适中的碳纳米管的最佳温度是700℃。关键词：多壁碳纳米管；沉积温度；PECVD 中图分类号：TQl27 文献标识码：A Effectof onthe ofCarbon TemperatureMorphology Depositing Nanotubes PlasmaEnhancedChemical Synthesizedby VaporDeposition Liu—din91，WANGXiao．don91，LIZhao—nin91 X／Cai-ping‘”，WANG 0f Polytechnical (1．DepamnentAppliedPhysics，NolthwcstexnUnivemity，xi柚710072。China； 2．WeinanTeachen University，Weinan714000。China) 11March 2011) (Recehzd 201I，mⅨ尹‘耐13May onSi Niag carbonnanotubeswere substrates访t}I Abstract：Mud．walled prepared catalystbyplasma enhancedchemical and effectof gas．The capordepositiontechnologyusingC2H2，H2 N2鹊reactive onthe carbonnanotubesand mechanismswere structureof analyzed depositingtemperature growth deeply results