新型PST铁电薄膜的制备及其电性能研究.pdfVIP

．218． 材料导报 2003年9月第17卷专辑 ————一 一一————————————————一…—————一———————————————一 一——新型PsT铁电薄膜的制备及其电性能研究” 李元昕 刘梅冬 曾亦可姜胜林邓传益 (华中科技大学电子科学与技术系，武汉430074) 摘要 I，sT铁电薄膜是一种具有优良铁电、热释电和介电等性能的铁电材料。该材料在缸外探测器、红外焦平 面阵列、热成像器件、非易失性铁电存储器和大客量电容器等方面具有广泛的应用。PsT铁电薄膜的制备方法多种多 样．各具优缺点，不同的制备工艺对薄膜的性能有影响。敏述了PsT铁电薄膜的制备技术、电性能和在热释电红外探 别器方面的应用。 关键词 PsT薄膜制备工艺铁电性热释电性介电性 一1驶Z ^ J／／ 十、 AReviewOf MethodsandElectrical Preparation ofNewPSTThinFilms Properties LIYuanxinLIU ZENGYike DENG JIANG Chuanyi Meidong Shenglin of ofSctenceand 430074，Chlna) EIectronlcsclence Umversity ‘映panment a“Technology，Hua出o“g TechnoIogy，Wuhan Abstract l’STthlnfilr髓are“rroelectncmaterialswith suchasexcellentferroelectric， manyadvant8Ees anddlelectric b8veawlde of in 1nfrared pyroelectrlcdevices，unc001ed pyroelectrlc pr。penies．Theyra“geappllcatlons 1nfraredfocal devices．non—volatneferroelectrlcRAMand value planearrays，Infraredthernml capaci— 1magi“g la。ge torThereare methDdsfor ofPSTthin矗Ims，andeachhsits and many preparatlon advant89esdisadvantage．The ofPSTthlnf11ms onthe conditlonsThls reviewsthe methodsand pro肚rtles depend preparation paper preparation elecIrlcal of11STthinfilms．