一种新的求解ULSI双介质互连电容的模拟电荷法.pdfVIP

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2015-09-30 发布于湖北
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一种新的求解ULSI双介质互连电容的模拟电荷法.pdf

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第卷第期半导体学报 22 2 VO1. 22 NO. 2 年月 2001 2 . 2001 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS Fe 一种新的求解ULSI 双介质互连电容的模拟电荷法 1 2 1 1 1 朱兆旻肖夏阮刚宋任儒刘勇复旦大学电子工程系专用集成电路与系统国家重点实验室上海中国 (1 200433 D 开姆尼兹技术大学微技术中心开姆尼兹德国 (2 D-09107 D 摘要论述了一种模拟电荷法与镜像格林函数法相结合对模拟电荷用法进行最优设置的提取双介质 : DFP ULSI 互连电容参数的基本算法并与其它互连电容模拟软件模拟的结果进行了比较相对偏差小于表明这种新 10% 的模拟电荷法是有效的和可行的. 关键词格林函数法模拟电荷法互连电容 : G G EEACC : 2570 中图分类号: TN 47 文献标识码: A 文章编号: 0253-4177(2001D 02-0208-06 容 1 7] 而实际应用的互连线系统属于多种介质多引言层导体的微带或带状线结构其横截面形状如图 1 1 所示由于横截面的尺寸很小因此当信号脉冲的速 . 的互连效应在系统的工作速度提高后已度未达到极高其主要频谱范围不超过几十 ULSI