消应力消偏振胶合棱镜二向色膜的设计与制备.pdf

数字技术 机械工程 消应力消偏振胶合棱镜二向色膜的设计与制备 , , , , 饶凤翔 毕文江 羊 琨 卢卫萍 薛盈普 ( , ) 利达光电股份有限公司 河南 南阳473003 : , , 摘 要 根据薄膜的偏振效应 运用 光学薄膜设计软件 完成 棱镜中消偏振 Essential Macleod DVD , , 。 二向色膜的设计 并采用光控法精确控制膜层厚度 制备出了满足客户要求的消偏振分光棱镜 残余应 , 。 , 力大的薄膜容易产生脱膜现象 使得薄膜失去所需功能 为了消除薄膜应力 从膜料之间应力匹配关系 , , , 及制备工艺 个方面 提出了控制薄膜应力的设计思想 并对其影响进行了讨论 利用镀膜前后光圈变化2 。 , , 来反映膜层应力的大小 制备过程中 通过设计制作可调工装来改变镀膜有效孔径 通过调节标准块来 。 。 满足非常严格的镀膜有效孔径要求 本文给出了该棱镜的消偏振膜系的设计和试验结果 : ; ; 关键词 消偏振膜 薄膜应力 可调工装 中图分类号: 文献标志码: TB 43 B Desi n and Production ofStress Relievin and De olarization Dichroic Thin Film for Bonded Prism g g p , , , , RAO Fen xian BI Wenian YANG Kun LU Wei in XUE Yin u g g j g p gp ( , , , ) Lida O tical and Electronic Co.Ltd Nan an 473003 China p y g : , Abstract Accordin to olariza