热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ( % %$$’ % ， ， ， J: 2( 9: 2% 8@QMF=MN %$$’ （ ） #$$$)%;$V %$$’V ( $% V $77)$’ WOXW YTZ*[OW *[9[OW !%$$’ OU+- 2 YUN? 2 *:G 2 热处理参数对溶胶 凝胶法制备 ! 氧化锌薄膜特性的影响! ! 宋永梁 季振国 刘 坤 王 超 向 因 叶志镇 （浙江大学硅材料国家重点实验室，杭州 #$$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$ ’ ## %$$ ( %# 采用溶胶 凝胶旋涂法在 （ ）衬底上生长了 薄膜，并用荧光光谱、原子力显微镜和 对 薄膜样 ) *+ ### ,-. /01 ,-. 品进行了分析 结果表明，溶胶 凝胶旋涂法制备的 薄膜为纤锌矿结构，其 轴取向程度与热处理温度有很大 2 ) ,-. ! 的关系2 当热处理温度小于(($3 时，氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰，而可见波段的发射很弱；当 热处理温度高于 时，可见波段发射明显增强 对经过不同时间热处理的 薄膜样品分析表明，氧化锌薄膜 (($3 2 ,-. 的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系，时间过短可见波段的发射较强，但时间过长会导致晶粒发生 团聚，导致紫外发射峰强度减弱2 关键词： 薄膜，光致发光 ,-. ： ， ， #$$ 4((5 4’$6 7$8 备，工艺简单，可获得理想厚度和组分的薄膜，正受 到薄膜研究人员的广泛注意 本文采用溶胶 凝胶法 #H 引 言 2 ) 在 型 （ ）衬底上使用旋转涂覆技术生长了 L *+ ### ,-. 是一种直接带隙宽禁带半导体材料，具有 ,-. 薄膜，并研究了成膜过程中热处理温度及时间 六角形纤锌矿 结