一种新的膜厚测试技术.pdfVIP

测量与设备 一种新的膜厚测试技术 孙 艳 孙 锋 杨玉孝 谭玉山 （西安交通大学激光红外研究所，西安!##$% ） （空军工程学院航空电子工程系，西安!##’） 摘 要 在“ ”型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的基片，入射光在光纤—薄膜层—空气的界面处两 ! 次反射，由于两束反射光之间存在光程差，所以反射光发生干涉。不需要测量干涉条纹，仅通过对反射光谱的分析 计算，可以测出薄膜的厚度以及折射率的数值。在单晶硅基片上做非晶的#$%( 膜的甩膜实验中使用该方法测试 膜的厚度，实验证明，该方法测量精度高、速度快，对薄膜无破坏作用。用卤素白光和红光的准单色光（ #$%( )## ’ ）作为光源，膜厚范围为 到几十微米，测量误差小于 。进行了实验验证，给出了对噪声的处理方 * ’)# ’ # +, $# ’ 法。 关键词 光纤 干涉 频谱 光程差 的事，导致该方法使用起来不够灵活。 引言 本文介绍的测量膜厚的方法，是通过对入射光 在微测量中，传统的方法测试膜的厚度，如迈克 在薄膜上下表面所产生的两束反射光束的干涉谱的 尔逊干涉仪测试膜厚，无法直接测出干涉条纹移动 测量，测算薄膜上下界面反射光之间的光程差，从而 的条目数，而且干涉条纹的清晰程度直接影响到测 计算得到测得膜的厚度，以及膜的折射率- 的数值。 试精度，所以必须提高仪器测试精度以得到清晰的 系统使用卤素灯作为宽带白光光源，用$## ’ 芯径 ! 干涉条纹，光学系统较为复杂，一般需要激光做为光 石英光纤传导光信号，由分光光度计测量反射光的 源。 射线法干涉法，可以实现纳米级的测量，其条 干涉频谱。该系统的特点是：采用“ ”型光纤传导 ( ! 纹分割的可靠度比光学干涉法高，是一种很精密的 光信号；在光纤的测试端，入射和反射光通过同一根 测量方法，但这种方法只能测量最小膜厚，而不能测 光纤；不需要外加参考光以得到干涉条纹；直接测量 量任意位置的膜厚。椭圆偏振法是测量膜厚的常用 反射光的光谱即可得到膜厚和折射率的数据。 方法，精确度高，不需要事先知道膜的折射系数，由 一、膜厚测试原理 于这种方法必须事先制好曲线和数表，但生产偏振 仪的厂家所提供的曲线和数表有限，往往需要使用 不透明载体上的膜厚测试原理如图 所示。用 者自己计算所需的数表和曲线，这是一件非常烦琐 宽带白光作为光源，光源发出的光射向厚度为 折 ) !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!  # +%%%(’ # +#!’) / # +##’$ ( + 在保证 01%2 01# 回转体回转精度的情况 *( .  # +#!’,’ # +%%%(’ # +##%#  下，可以通过数学模型一次性标定回转测头系统，从 