物理气相沉积TiAlN涂层的研究进展.pdfVIP

物理气相沉积TiAlN涂层的研究进展／曹华伟等 ·25· 物理气相沉积TiAIN涂层的研究进展。 、 曹华伟，张程煜，乔生儒，曹晓雨 (西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室，西安710072) 摘要 概述了物理气相沉积TiAIN涂层的研究现状及发展趋势，详细分析了制备方法、Al含量、N2流量、基 体偏压、温度以及其他元素对TiAIN涂层的涂层结构、硬度、高温抗氧化性和耐腐蚀性等性能的影响。目前制备的 TiAIN涂层存在残余应力较大、表面液滴数量较多和涂层致密度差等问题。为进一步促进Ti舢N涂层的应用，今后 还需探索该涂层的制备方法，优化其制备工艺。多元纳米复合涂层和超点阵多层涂层是两个具有潜力的发展方向。 关键词TiAIN涂层制备方法晶体结构硬度高温抗氧化性 Recent in TiAIN ProgressesPhysicalVaporDepositedCoating