原创力文档- 13
- 0
- 约2.06万字
- 约 6页
- 2015-10-01 发布于湖北
- 举报
用SPM纳米刻蚀方法在Ti表面制备纳米结构的研究.pdf
真 空 科 学 与 技 术 第 卷 第 期
CC Q
COC （ ） 年 月
K@V77# !VWXLVX @LT $XV1LBYBZ[ V1WL@ C’’C )
用 纳米刻蚀方法在 表面制备纳米结构的研究
!# $%
申自勇 侯士敏 薛增泉
（北京大学电子学系 北京 ’’()）
!#$%’%()
文档评论（0）