用于低gn值微惯性开关的低刚度平面微弹簧设计与制作.pdfVIP

第19卷第3期 光学精密工程 V01．19No．3 andPrecision 201 Optics Engineering 1年3月 Mar．2011 文章编号1004—924X(2011)03-0620—08 用于低gn值微惯性开关的 低刚度平面微弹簧设计与制作 王 超，陈光焱，吴嘉丽 (中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621900) 摘要：针对低g。值微惯性开关对微弹簧系统刚度的要求(O．1～IN／m数量级)，设计了一种基于平面矩形螺旋梁结构的 平面微弹簧。假设材料均匀、连续且具各向同性，根据材料力学的卡氏定理和线弹性理论。推导得到了微弹簧的弹性系 数计算公式。并根据ANSYS有限元仿真分析结果对其进行了修正。基于多层高深宽比硅台阶刻蚀方法．采用MEMS