PZT压电厚膜的飞秒激光烧蚀及图形化研究.pdfVIP

第40卷第10期 中自 种辱 艘求 女 誊 誊 敬 V01．40，No．10 UNIVERSITY 2010年10月 JOUF$qALOF OFSOIEI屺EANDTECHNOLOGYoFCHINA Oct．20 10 文章编号：0253—2778(2010)10—1011—05 PZT压电厚膜的飞秒激光烧蚀及图形化研究 刘 爽1，褚家如1，黄文浩1，李保家2 (1．中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽合肥230027； 2．江苏大学材料科学与工程学院，江苏镇江212013) 摘要：利用飞秒激光实现了对PZT厚膜(十几至上百微米)材料的精确烧蚀和图形化研究．飞秒激 光脉宽为130fs，重复频率为1 kHz．首先利用飞秒激光脉冲能量与烧蚀点大小的关系，得到飞秒激 光烧蚀PZT厚膜的能量闵值为100J／cm2，然后利用功率为50～300