《LCD显示器新手入门教材》.pdfVIP

液晶显示器制造工艺流程基础技术 一．工艺流程简述： 前段工位： ITO 玻璃的投入（grading） 玻璃清洗与干燥（CLEANING） 涂光刻胶（PR COAT ） 前烘烤（PREBREAK ） 曝光（DEVELOP ） 显影（MAIN CURE ） 蚀刻（ETCHING） 去膜（STRIP CLEAN ） 图检（INSP ） 清洗干燥（CLEAN ） TOP 涂布（TOP COAT ） UV 烘烤（UV CURE） 固化（MAIN CURE） 清洗（CLEAN ） 涂取向剂（PI PRINT） o 固化（MAIN CURE ） 清洗（CLEAN ） 丝网印刷（SEAL/SHORT PRINTING） f烘烤（CUPING FURNACE） 喷衬垫料（SPACER SPRAY ） 对位压合 n （ASSEMBLY ） 固化（SEAL MAIN CURING） i 1． ITO 图形的蚀刻：（ITO 玻璃的投入到图检完成） . A ． ITO 玻璃的投入：根据产品的要求，选择合适的ITO 玻璃装 x 入传递篮具中，要求 ITO 玻璃的规格型号符合产品要求， w 切记ITO 层面一定要向上插入篮具中。 d j B． 玻璃的清洗与干燥： 将用清洗剂以及去离子水（DI 水）等 . 洗净ITO 玻璃，并用物理或者化学的方法将ITO 表面的杂 w 质和油污洗净，然后把水除去并干燥，保证下道工艺的加工 质量。w C ． 涂光刻胶：在ITO 玻璃的导电层面上均匀涂上一层光刻胶， w 涂过光刻胶的玻璃要在一定的温度下作预处理：（如下图） 光刻胶 ITO 膜 玻璃基板 D． 前烘：在一定的温度下将涂有光刻胶的玻璃烘烤一段时间， 以使光刻胶中的溶剂挥发，增加与玻璃表面的粘附性。 Page 1 of 28 E． 曝光：用紫外光（UV ）通过预先制作好的电极图形掩模版 照射光刻胶表面，使被照光刻胶层发生反应，在涂有光刻胶 的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光