纳米技术 - 浙江大学光电信息工程学系.pptVIP

? 纳电子技术与微电子技术的比较 微电子技术 纳电子技术 理 论 微电子学、半导体 物理 量子效应理论 材 料 高纯硅、锗、镓砷 有机、无机复合材料 工 艺 光刻、掺杂、分子束 原子操纵、纳米加工 量子点（AFM图像） ? 纳电子器件实例 量子栅栏（STM图像） 纳电子导线 l 碳纳米 管 镀金光栅与CNT Co-axis Nanowire 单电子晶体管 （Single electron transistor, SET） 将一个微结构用隧道结与金属导线弱连结起来形成的电子器件，它利用单电子隧道效应。其中阴影线部分代表连接库仑岛与金属导线的隧道结。 AFM image of a SET 1个电子完成“开”和“关” 原子继电器 （Atom Relay，日本Y. Wada, 1993） 1014Hz 微存储器——光盘CD 浪费严重 （a）普通光盘 （b）原子光盘 1 ?m 0.1 nm 纳存储器——原子存储器的设想 100万张CD 《纳电子学与纳米系统》 ——从晶体管到分子与量子器件 戈瑟 著 西安交通大学出版社(译本) 2.4 纳米材料学(Nanomaterial Physics)