ICP操作规程1.docVIP

ICP操作规程 开机 （一）开机前检查1）大空调风机是否开启；2）超净室冷却循环水是否开启；3）液氮转化氮气装置是否开始进入蒸发状态，存量是否够一次使用； 4）kyky水箱水位（冷却机体循环水）；5）尾气处理器的情况（水位，水的颜色等）； 6）检查Icp的供电情况（Ban2-16 单相和Ban2-19三相 空气开关是否合上；Ban2-14（尾气处理）和Ban1-n1（kyky循环水箱的电闸是否合上，三相，三火一个零线）。 7）下电极冷却水箱的冷却液的液位；8)机械泵的油位。 （二）开机 1）打开kyky水箱；2）打开尾气处理器；3）打开要使用气的气瓶阀（氯基气体除外），及其对应的流量计气柜前阀；4）打开供干泵和系统放气的N2气阀，压力显示 为10psi，5）压缩空气阀，压力显示为75-80psi，6）打开超净室冷却循环水阀，先打回水，后打进水。用手摸一下朔料管，检查是否有水流。 7）按off 按钮 复位 ；8）按Main按钮，等计算机进入window界面；9）按pump按钮（控制机械泵的开启）；10）打开下电极冷却水箱；11）打开干泵（需检查 水流量2-3.5L/M, 氮气流量指针在绿区，58-62 PaM3/s，记录运行时间； 12）双击应用程序PLC-1.36.exe，系统初始化，等待分子泵加速5分钟，这时可以进行下面的步骤： 13）logon 登录，编辑和调用recipe工