ITO薄膜导电机理紫外红外光谱分析.pdfVIP

31 22 武 汉 理 工 大 学 学 报 Vo l. 3 1 N o. 22 2009 11 JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Nov. 2009 D OI: 10. 3963/ j . issn. 1671443 1. 2009. 22 . 024 ITO 余 刚, 赵芳红, 刘益环 ( , 100024) : 采用射频磁控溅射方法在石英玻璃基片上制备 IT O 薄膜, 结合薄膜面电阻和微观结构, 采用红 紫 光谱 特征分析薄膜的导电机理结果表明: 在相同氧分压下随温度升高紫 吸收波长向短波方向移动, 光学带隙展宽, 红 等离子共振吸收波长向短波方向移动; 随氧分压增加紫 吸收波长明显向长波方向移动, 光学带隙变窄, 红 等离子共 振吸收波长向长波方向移动; 根据Burs einMoss 移动理论及X RDAF