含N苯基马来酰亚胺甲基丙烯酸酯省略合成及其在负性光致抗蚀剂中的应用刘敬成.pdfVIP

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含N苯基马来酰亚胺甲基丙烯酸酯省略合成及其在负性光致抗蚀剂中的应用刘敬成.pdf

含N苯基马来酰亚胺甲基丙烯酸酯省略合成及其在负性光致抗蚀剂中的应用刘敬成

第 卷 第 期 影像科学与光化学 3 3 o 3 V l.33 No.3         0 年 月 , 2 15 5 Imain ScienceandPhotochemistr Ma 2015       g g y

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