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微型材料的拉伸测试方法研究
Jour al of Mecha ical Stre gth 机械强度 2001, 23(4) : 430~ 436
X
RESEARCH ON TENSION MEASUREMENTS FOR MINISIZE MATERIALS
1 1 1 2 2
( 1. 中国科学院力学研究所 非线性力学国家重点实验室, 北京 100080)
( 2. 香港科技大学 机械工程系, 香港九龙 水湾)
1 1 1 2 2
ZHANG Taihua YANG Yemin ZHAO Yapu YU Tongxi SUN Qingping
( 1. StateKey Laboratory of Nonlinear Mechanics ( LNM) , Institute of Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080, China)
( 2. Department of Mechanical Engineering , ong Kong University fo Science and Technology, ongKong , China)
,
, , ,
Abstract The rapid developments of micro-electro-mechanical systems ( MEMS) make pro ress in the research on the tension
measurements of minisize materials. The paper is specially focused on introducin several typical tension ways, and cited in illustration of
the tension measurin principles for drive, load and displacement and the difficulties of sample handlin , ali nment and rippin .
Finally, a discussion of the future on tension measurin principle is iven.
Key words Micro-electro-mecha ical system; Mi isize materials; Te sio
Correspondent: Z ANGTaihua, E-mail: zhangth @lnm. imech. ac. cn, Fax: + 86-10
The project supported by the National Natural Science Foundation of China ( No.and No. .
Manuscript received in revised form
1
,
( MEMS)
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