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《03.Enhanced thermoelectric performance of rough silicon nanowires》.pdf
doi: 10.1038/nature06458
SUPPLEMENTARY INFORMATION
Silicon Nanowires as Highly Efficient Thermoelectric Materials―
Supplementary Information (Experiment)
Akram I. Boukai#, Yuri Bunimovich#, Jamil Tahir-Kheli, Jen-Kan Yu,
William A. Goddard III, and James R. Heath*
Device Fabrication and Measurement Setup
The devices used in this report were fabricated from intrinsic silicon-on-insulator (SOI)
substrates (Ibis Technology) with a buried oxide thickness of 150nm. The top Si(100) epilayer
began with a thickness of 400nm and was
thinned through repeated thermal oxidations
nn 55 and wet chemical etching steps until the
oo
ii
tt desired Si layer thickness (20nm or 35nm)
aa
rr ))
tt 33
nn --mm was obtained. AFM analysis revealed a
ee
cc cc
nn 99 33 smooth surface with an rms roughness of
oo 11
00
CC 11
tt xx ~3.6 Å. Next, the Si epilayer was doped
nn ((
aa
pp 11
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