《基于自适应和模煳控制的新型XY平台同步控制研究》.pdf

第20卷第12期 系统仿真学报@ V01．20N0．12 of Simulation Joumal 2008年6月 System Jun，2008 基于自适应和模糊控制的新型XY平台同步控制研究 陈静，刘强，齐畅 (北京航空航天大学机械工程及自动化学院．北京100083) 擅要：高性能)Ⅳ平台普遍应用于集成电路(Ic)制造和封装设备中．为获得较高加速度，提出 了一种单违双直线电机冗余驱动的新型XY定位平台。冗余驱动系统在高速和高加速运动时均存在 同步运动精度问题。针对x轴向双直线电机的同步疆动控制，建立了冗余驱动数学模型，井基于 模型参考自适应控制争白适应模糊控制算法，设计了运动控制器。确保了同步运动精度。仿真结 果表明，在较高加速度运动时，系统具有良好的静态、动态性能和较高的同步运动精度． 关键词：自适应控制；模糊控制；同步驱动；鲁棒性 中图分类号：TP273 文献标识码：A 文章编号：100单731x(2008)12·3212-04 ControlofNoVelXY_table Research伽Synchronous Basedon and ControlMethods AdaptiVeFuzzy CHEN J讥g．uUQiQng．QlCkmg (Sch00lofMecIlanical and 100083，CIli】阻) Engin∞ringAutomdoⅡ，Bem蛆gUniVe巧ityBc司ing XY：tableis into aIId Abstmct：Highperf研m锄ce commonlyincorpomtcdintegral甜circuit(IC)manufk嘶ngpackaging o础一s谢已讹f妇棚r equip玎嘲惚．饥Dn如r幻nclIlf删en^fg妇r觚e跆mffD％口舶vefXyposf砌H以g渤比陀d【．砌眵d—w托6y redundaIlt血ve sufFersf幻m motion athigh —lD幻腊w珊p，0p∞以The systcmcommonly synctlIDnousprecisionpmblem mDfD腰彤d“砌fd—w speedandaccelerationmtes．刀圮，，船砌已，，以fic甜小Dd讲D厂砒面胁圮口r J”纪m口lfDn占X·硎s戚陀c“册 comrollers bnsedonmodet comrol wc话Rive亿Me国tWhile．mottonwe他designed re如rencecId印tive a以口dnptive舢zzy simuJationnesultssbowthatt量1econ臼Dl better 伽，，洲口咖—历巩，勿删，F加￡n搬动阳孵蝴删口，泐矽忍℃妇加．Tbe sys咖